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壓電旋轉臺光學表面分析儀

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產品型號FPMAR-SR-5018

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更新時間：2022-11-26 09:06:43瀏覽次數：121次

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產品簡介

壓電旋轉臺SR-5018是采用壓電旋轉臺技術的壓電旋轉位移臺,采用壓電電機驅動可實現360度無限旋轉

詳細介紹

壓電旋轉臺SR-5018是采用壓電旋轉臺技術的壓電旋轉位移臺,采用壓電電機驅動可實現360度無限旋轉。
壓電旋轉臺SR-5018集成光學編碼器確保閉環定位分辨率（低于1μrad）和重復精度（高達5μrad）。
我們為用戶提供幾種標準壓電旋轉定位臺方便用戶選擇,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有壓電旋轉定位臺都可以根據用戶需求定制.

壓電旋轉臺規格參數

型號	SR-5018	SR-5714	SR-5714C
口徑	8mm	25mm	25mm
S閉環傳感器分辨率	15μ°	15 μ°	15 μ°
角度分辨率	< 1 μ°	< 0.5 μ°	< 0.5 μ°
掃描范圍	> 3.8 m°	> 2.3 m°	> 2.3 m°
行程范圍	∞	∞	∞
定位臺尺寸	50 x 50 x 16.5 mm³	45 x 45 x 12.5 mm3	57 x 57 x 13.75 mm³
負載	20N(2Kg)	25N(2.5Kg)	25N(2.5Kg)
適合真空度	10^-6 mbar	10^-6 mbar	10^-11 mbar
角速度	15度/秒	9度/秒	9度/秒
步進	0.2 – 2.0 m°	0.2 – 3.0 m°	0.2 – 2.0 m°
頻率	18.5KHZ	18.5KHZ	18.5KHZ
阻尼力Mb	7N cm	5N cm	5N cm
正向力Fn	20N	25N	25N
旋轉臺尺寸	Ø 41 mm	Ø 57 mm	Ø 48 mm
重量	100g	110g	105g
S閉環分辨率	15 μ° MSC/SDC	-	-
L閉環傳感器分辨率	60 μ°	-	-
L閉環分辨率	60 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU	-	-