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納米定位臺(tái)系統(tǒng) 光學(xué)表面分析儀

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孚光精儀（中國(guó)）有限公司

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納米定位臺(tái)系統(tǒng)采用納米直線位移臺(tái)和納米旋轉(zhuǎn)臺(tái)搭建成各種納米定位系統(tǒng),包含了二維XY納米定位臺(tái),三維微操作定位臺(tái),三維XYZ納米定位臺(tái),多角度旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

納米定位臺(tái)系統(tǒng)采用納米直線位移臺(tái)和納米旋轉(zhuǎn)臺(tái)搭建成各種納米定位系統(tǒng),包含了二維XY納米定位臺(tái),三維微操作定位臺(tái),三維XYZ納米定位臺(tái),多角度旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)系統(tǒng)。
XY納米定位臺(tái)是二維電動(dòng)納米定位臺(tái),采用兩個(gè)納米線性定位器在XY方向正交堆疊組成,可提供51x51mm^2的工作面積,可以用于超高真空環(huán)境,并可以在此基礎(chǔ)上升級(jí)到XYZ三維納米定位臺(tái)系統(tǒng)。

多角度旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)系統(tǒng)
多角度旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)系統(tǒng)采用SR2812納米旋轉(zhuǎn)臺(tái)提供超納米級(jí)高精度多角度定位和歐拉角定位,三個(gè)歐拉角方向都可給出納米定位精度,工作面積可覆蓋360° x 180° x 360°。該多角度旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)系統(tǒng)可用于超高真空環(huán)境，且具有多種負(fù)載能力的配置供用戶(hù)選擇。

三維微操作定位臺(tái)
三維微操作定位臺(tái)采用2個(gè)SLL線性位移臺(tái)和1個(gè)SR7012旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)組成,非常適合各種樣品的3D微操作定位,負(fù)載300g,在垂直,水平和任何混合方向都可提供250mm行程。這套三維微操作定位臺(tái)精度高達(dá)納米量級(jí),可用于超高真空環(huán)境,非常適合SEM樣品定位等掃描電鏡樣品定位。
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三維XYZ納米定位臺(tái)
三維XYZ納米定位臺(tái)采用直線納米定位臺(tái)搭建而成,可提供典型的工作面積為21 x 21 x 21 mm³，也可采用其它規(guī)格的納米定位臺(tái)組成各種XYZ三維定位臺(tái)系統(tǒng)。XYZ三維納米定位臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊，非常適合各種精密三維操作定位，適合超高真空環(huán)境。