這款
精密直驅高速旋轉臺是高精度直驅轉臺,采用光學編碼器實現高速旋轉和高精度旋轉,直驅電機實現直接驅動為用戶帶來零反沖高精度平移運動,具有*的高精度和低摩擦的優勢。
精密直驅高速旋轉臺采用線性非接觸式光學編碼器作為反饋系統,使得位置控制高達亞納米級分辨率。
精密直驅高速旋轉臺采用自然老化鋁合金確保了平移臺高溫穩定性和輕巧性,以及優良的長周期運動。
精密直驅高速旋轉臺可以用于潔凈空間環境或真空度10^-3Torr的真空環境,也可根據用戶要求提供高真空旋轉臺。
精密直驅高速旋轉臺可以輕松地直接連接到光學平臺上,還可以安裝到花崗巖龍門架或高精度平臺上實現高精度旋轉定位。
精密直驅高速旋轉臺特點直接驅動電機轉臺
超高旋轉速度9000°/s (1500rpm)
高精度和重復定位精度
高承載能力
緊湊設計
方便集成到各種平臺或光學機械系統中
精密直驅高速旋轉臺規格
| 旋轉角度 | 360度 |
| 編碼器類型 | 光學編碼器 |
| 編碼器型號 | LEn3 |
| 編碼器分辨率 | 0.0000625度 |
| 編碼器接口 | 差分RS422 |
| 放大系數 | 200 |
| 編碼器光柵周期 | 0.05度 |
| 參考標記 (Index) | Yes |
| 精度2) |
| 標定前 | ±218 / ±45.00 µrad/arcsec |
| 標定后 | 來函索取 |
| 單向重復精度 | N/A |
| 雙項重復精度（peak-peak)2) | ±7.30 / ±1.50µrad/arcsec |
| 雙項重復精度(RMS) 2) | ±2.90 / ±0.60µrad/arcsec |
| 偏心率Eccentricity 3) | ±5.00µm |
| 搖擺Wobble 3) | ±19.40 / ±4.00 µrad / arcsec |
| 速度 (無負載) 4) | <9000/1500 deg/s/RPM |
| 加速度 (無負載) 4) | 1080000/180deg/s2 / kRPM/s |
| 扭矩(連續)5), Nm | 5.4Nm |
| 限位開關 (Safety) | 無 |
| 負載和導向信息 |
| 類型 | 扭矩電機,直驅型旋轉臺 |
| 電機型號 | TM 105.34N |
| 電機設計類型 | 力矩或扭矩電機 |
| Bus Voltage | >300VDC |
| 負載 (中心放置) 6) |
| 水平 | 40kg |
| 豎直 | 20kg |
| 運動質量 7) | 來函索取 |
| 導向系統 | 交叉滾珠軸承 |
| 材料和外殼信息 |
| 外部材料 | 鋁合金 |
| 外殼處理 | 黑色陽極氧化 |
| 環境壓力 | 標準大氣壓 |
| 工作溫度 | 20±2°C |
| 控制器 |
| 推薦控制器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
| 推薦驅動器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
| 推薦電源 9) | 2相或3相電 |
| 推薦通訊接口 12) | EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP |
| 線纜長度 | 2m |
| 差分輸出 10) | On request |
| 配件 |
| 底板 | 不需要 |
| Ox或Oy二維旋轉定位搭建 | 需要角安裝架 |
| 外形尺寸 |
| 旋轉臺部分尺寸 | Ø90mm |
| 中間通孔 | Ø15mm |
| 整體尺寸W x L x H | 151 x 122 x 62mm |
| 公制或英制 | 公制 / 英制均可提供 |
| RoHS | 滿足 |
| 重量 | 2.6kg |
1) 默認為x4轉PPR-脈沖數/每轉，模擬SIN/COS編碼器接口
2)精度和雙向重復定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測量計算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 電子自相關儀器測試,電子自相關儀11D-ALI-COL分辨率1µrad. 環境誤差1µrad.
4) 速度由編碼器限制和驅動器CUT-OF頻率以及導向系統限制.
5)加速度由驅動器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負載能力由導向系統決定.
7) 運動質量是系統常數m0,通常是沒有負載時的慣性。
8) 推薦的控制器和驅動器有助于發揮電動平移臺的性能.
9) 推薦的電源是根據用戶的占空比和負載來選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動或被動LCMv2接口.
11) 標量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。
