這款三維中空壓電掃描臺是為壓電掃描定位設計的XYZ中空壓電掃描平臺和三維中空壓電定位臺,廣泛用于掃描探針顯微鏡壓電掃描,原子力顯微鏡壓電掃描和微納操作,非常在開放和閉環系統中的光學元件壓電掃描定位和掃描探針壓電掃描應用
這款三維中空壓電掃描臺是為壓電掃描定位設計的XYZ中空壓電掃描平臺和三維中空壓電定位臺,廣泛用于掃描探針顯微鏡壓電掃描,原子力顯微鏡壓電掃描和微納操作,非常在開放和閉環系統中的光學元件壓電掃描定位和掃描探針壓電掃描應用。
三維中空壓電掃描臺活動的中心部件掛在柔性彈簧上，由壓電驅動器驅動，確保了應用的高剛度和高穩定性。三維中空壓電掃描臺的設計為運動提供了的線性和平整度，與經典的采用壓電陶瓷管的壓電掃描臺相比具有更高機械強度。
三維中空壓電掃描臺配備了電容位移傳感器，包括在數字反饋鏈系統內，進行數字閉環控制。它提供了高精度和線性運動，消除了對壓電陶瓷的蠕變效應。測量電容傳感器的TDC芯片（時間數字轉換器），安裝柱離傳感器最近的位置，發出電子信號與測量得的電容成正比。這樣可以將外部噪音的影響還可以使用長電纜連接到控制器。
三維中空壓電掃描臺特點
雙電容傳感器反饋技術
低頻噪聲電阻
補償壓電陶瓷的蠕變效應
水平方向上掃描位移行程200µM
垂直方向位移行程20µM
超高分辨率，為0.1nm
中空孔徑高達45mm
低成本
設計緊湊，重量輕，剛度高
是顯微鏡應用的理想中空壓電掃描臺
通用性強
具有真空壓電掃描臺型號
三維中空壓電掃描臺應用
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
納米定位
計量學應用
生物學研究
電子學應用
微操作等。
三維中空壓電掃描臺產品規格
運動特性
主動軸 XYZ
XY運動范圍 200 x 200µm
Z軸運動距離 20µm
分辨率（閉環） 1nm
分辨率（開環） 0.1nm
整范圍內的角度傾斜 ＜0.01°
掃描速度 10Hz
控制性能
XY軸電容量 10pF
Z軸電容量 10pF
機械性能
中空通孔直徑 45mm
諧振頻率Z軸 3KHz
諧振頻率XY軸 1KHz
負載能力 100g
操作溫度范圍 - 40~80°C
尺寸 100x100x35mm
材料 鋁
