組合多維位移臺系列是采用電動位移臺和旋轉臺搭建的電動多維組合位移臺和微調位移臺,具有多軸微位移和多軸旋轉微定位功能。
組合多維位移臺一:五維電動位移臺
8-0018,可在XYZ三軸平移和X軸旋轉,Z軸旋轉,組成如下 組成部分 | 規格 | 組成代碼 |
XYZ電動位移臺 | 行程100mm | 8MT167-100 |
X軸旋轉臺 | ±90° | 8MR191-28 |
Z軸旋轉臺 | ±360° 連續旋轉 | 8MR151-1 |
負載能力 | 1 kg |
圖1::五維電動位移臺
8-0018實物圖組合多維位移臺二:XZ二維電動旋轉臺8-0025,可在X和Z軸實現雙軸旋轉,組成如下
組成部分 | 規格 | 代碼 |
X軸旋轉臺 | ±45° | 8MR190-90-59-001 |
Z軸旋轉臺 | 360°連續旋轉 | 8MR190-90-4247 |
負載 | 15 kg |
圖2:
XZ二維電動旋轉臺8-0025實物圖組合多維位移臺三:六維位移旋轉臺8-0027具有Z軸平移和旋轉,X軸旋轉,Y軸傾斜和旋轉功能,組成如下
組成部分 | 行程 | 代碼 |
Z軸位移 | 25 mm | 8MVT120-25-4247 |
X 軸旋轉 | ±2.5° | 8MTP116 |
Y 軸傾斜 | ±2.5° | 8MTP116 |
Y 軸旋轉 | ±180° | 8MR190-2-28 |
Z 軸旋轉 | 360° continuous | 8MR151-1 |
負載 | 1 kg |
圖3:六維位移旋轉臺8-0027實物圖
組合多維位移臺四:二軸旋轉平臺系統8-0029具有Z軸旋轉和Y軸旋轉功能,組成如下
組成部分 | 行程 | 代碼 |
Y軸旋轉 | ±45° | 8MR151-30-25 |
Z軸旋轉(系統) | 360° | 8MR190-2-28 |
Z軸旋轉(樣品臺面) | 360° 連續旋轉 | 7R7 |
負載 | 1 kg |