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小型

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產品型號FPGAM-EX5

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更新時間：2021-08-16 20:58:46瀏覽次數：76次

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孚光精儀（中國）有限公司

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產品簡介

詳細介紹

小型是一款真正的全功能微型，157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波長,脈寬7~9ns,重復頻率250Hz/500HZ/750HZ,在248nm時激光功率高達8W，在193nm激光功率高達4W,采用超緊湊型48 X 26 X 26厘米、15千克、風冷封裝。
小型特點
內部法拉第籠確保超低電噪聲
陶瓷/金屬制造
壽命高達10億次
固態開關
抖動2ns

小型應用
•替代科研激光器
•電離源激光器
•紫外激光微加工
•精密激光標記
•準分子屈光手術
•拉曼光譜
小型EX5規格
工作物質 F2 ArF KrF XeCl XeF
波長nm 157 193 248 308 351
能量mJ 1.5/2.0* 12 20 8 6
峰值功率MW 0.25 1.75 2.5 1.0 0.75
平均功率W@250Hz 0.3/0.4 2.5 4.0 1.5 1.3
平均功率W@500Hz 0.5 5.0 8.0 2.5 2.4
重復頻率 250/500/750
動態氣體壽命50%能量10E6 12E6 18E6 10E6 15E6
50%能量保存期 10天 15天 30天 2個月 30天
脈寬ns 7--9
穩定性 <2%標準偏差
激光管壽命 20億脈沖
光束尺寸mm 3X 6
發散角mRad全角度 1 X 2
冷卻空氣/可選水冷
定時抖動 2ns標準偏差
重量 15kg 250/500Hz

關鍵詞：標準

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