這款大能量是為大能量紫外激光應用設計的大功率,非常適合脈沖激光沉積PLD等應用,193nm波長的激光脈沖能量高達150mJ,248nm的激光脈沖能量高達250mJ
這款大能量是為大能量紫外激光應用設計的大功率,非常適合脈沖激光沉積PLD等應用,193nm波長的激光脈沖能量高達150mJ,248nm的激光脈沖能量高達250mJ.
大能量特點
具有20Hz,50Hz,100Hz重復頻率供選擇
單激光器即可產生大功率大能量激光
光束發散角小
計算機可控制
抖動小到<2ns
•
•的脈間穩定性
•氣體壽命長
•長壽命光學器件
•電暈預電離技術
•車載真空泵
大能量應用
•替代科研激光器
•脈沖激光電離激發
•準分子激光微納加工
•精密激光標記
•屈光手術
•拉曼光譜激發源
大能量規格
工作物質 F2 ArF KrF XeCl XeF
波長nm 157 193 248 308 351
能量mJ 20 125 250 125 100
平均功率W@20Hz 0.4 2.5 5 2.5 2
平均功率W@50Hz 0.9 5 12 4 4.5
靜態氣體壽命 10天 20天 30天 6個月 30天
激光窗口壽命 100E6
重復頻率 20Hz和50Hz
脈度 20-26ns
光束尺寸 19x 7 mm V x H
穩定性 <2%標準偏差
光束發散角 3x 1.2 mRad全角
冷卻 空氣/水
激光管壽命 >10億脈沖
電源 20Hz 95-240 VAC, 3/ 6 A, 47/63 Hz 50Hz 208-240 VAC, 5/10A, 47/63 Hz
超大能量規（增強版）
工作物質 F2 ArF KrF XeCl XeF
波長nm 157 193 248 308 351
能量mJ 22 200 1J 200 125
平均功率W@20Hz 0.4 3.0 10 3.0 2.0
平均功率W@50Hz 0.9 6 6 4
靜態氣體壽命 10天 20天 30天 6個月 30天
（50%能量）
脈寬 18-22ns
腰斑尺寸 19x 7 mm
穩定性 <2%標準偏差
光束發散角 3x 1.2 mRad
定時抖動 +/-2ns
冷卻 空氣/水
激光管壽命 >10億脈沖
重量 80kg
尺寸 1420 X 430 X 330 mm
