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晶圓少子壽命測量儀

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產(chǎn)品型號FPSIN-WCT-120

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更新時間：2021-08-16 15:38:43瀏覽次數(shù)：71次

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孚光精儀（中國）有限公司

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產(chǎn)品簡介

這款晶圓少子壽命測量儀是專業(yè)為晶圓少數(shù)載流子復(fù)合壽命測量設(shè)計的少子壽命測試儀器

詳細(xì)介紹

這款晶圓少子壽命測量儀是專業(yè)為晶圓少數(shù)載流子復(fù)合壽命測量設(shè)計的少子壽命測試儀器。
晶圓少子壽命測量儀采用半標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)光電導(dǎo)壽命測量方法QSSPC技術(shù)和瞬態(tài)光電導(dǎo)衰退技術(shù)測量在10ns~10ms范圍的少子壽命。其中準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)光電導(dǎo)壽命測量方法QSSPC非常適合監(jiān)測多晶硅晶圓,摻雜擴(kuò)散和低壽命樣品。瞬態(tài)光電導(dǎo)衰退適合較高少子壽命的晶圓測量。準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)光電導(dǎo)壽命測量方法QSSPC技術(shù)壽命測量也得出隱含開路電壓（對照度）曲線，與I-V曲線相當(dāng)。
晶圓少子壽命測量儀特色
•單鍵識別硅片的關(guān)鍵特性，包括片材電阻，壽命，陷阱密度，發(fā)射極，飽和電流密度，電壓
•校準(zhǔn)載流子壽命與注入水平產(chǎn)生,結(jié)果是普遍的認(rèn)可的

晶圓少子壽命測量儀應(yīng)用
主要用途：逐步監(jiān)測晶圓以及制造工藝的優(yōu)化
其他應(yīng)用：
•監(jiān)控初始材料質(zhì)量
•檢測過程中的重金屬污染
晶圓加工
•評估表面鈍化和發(fā)射極摻雜擴(kuò)散
•使用隱含的I-V測量
晶圓少子壽命測量儀規(guī)格參數(shù)
可測值:壽命,電阻率,發(fā)射極飽和電流密度,陷阱密度,一個太陽Voc
壽命測量范圍:100 ns到大于10 ms
測量（分析）模式:準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)光電導(dǎo)壽命QSSPC、瞬態(tài)壽命和廣義壽命分析
電阻率測量范圍：3–600）歐姆/平方英寸，（未摻雜）
可用光偏壓范圍：0–50個太陽
典型校準(zhǔn)注射范圍：10^13~10^16 cm^-3
可用光譜: 白光和紅外照明
傳感器面積: 40mm直徑
樣本大小，標(biāo)準(zhǔn)配置: 標(biāo)準(zhǔn)直徑：40–210mm
晶圓厚度范圍: 10–2000μm（校準(zhǔn)）,可測量其他厚度

關(guān)鍵詞：測量儀標(biāo)準(zhǔn) 傳感器

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