隨著電力系統的不斷發展，SF6電氣設備應用越來越廣泛，特別是GIS組合電器由于其大大縮小了電氣設備的占地面積與空間體積，安裝方便、運行安全可靠、維修方便等優點而光泛應用。
SF6常溫常壓下為無色無臭無毒不燃的穩定氣體，分子量為146.055，在20℃和0.1 MPa時密度為6.0886kg/m3，比重約是空氣的5倍。六氟化硫分子結構呈八面體排布，鍵合距離小、鍵合能高，因此其穩定性很高，在溫度不超過180℃時，它與電氣結構材料的相容性和氮氣相似。
SF6是強電負性氣體，它的分子極易吸附自由電子而形成質量大的負離子，削弱氣體中碰撞電離過程，因此其電氣絕緣強度很高，在均勻電場中約為空氣絕緣強度的2.5倍。SF6氣體在t≈2000K時出現熱分解高峰，因此在交流電弧電流過零時，SF6對弧道的冷卻作用比空氣強得多，其滅弧能力約為空氣的100倍。由于SF6氣體具有優良的滅弧性能和絕緣性能以及良好的化學穩定性，它從20世紀50年代末開始被用作高壓斷路器的滅弧介質。在超高壓和特高壓斷路器中，SF6作為滅弧介質，已取代油，并已大量取代了壓縮空氣。
裝有SF6設備的配電裝置室如GIS發生泄漏后，SF6氣體在低層空間積聚到一定濃度后，如果工作人員進入室內，會發生大腦缺氧，甚至快速窒息等嚴重人身安全事故。另外，在電弧以及局部放電、高溫等因素影響下，SF6氣體會產生如SF4、S2F2、SOF2等高毒分解物，某些分解物遇水產生腐蝕性電解質，這些不僅對人身安全構成嚴重威脅，而且危害電氣設備的正常運行。《電業安全工作規程》(發電廠和變電站部分)特別規定，裝有SF6設備的配電裝置室必須保證SF6濃度小于1000ppm，除須裝設強力通風裝置外，還必須安裝能報警的氧量儀和SF6氣體濃度檢測報警儀等監測裝置。
SF6氣體濃度在線監測報警系統是根據當前電力系統強調安全生產的形勢，為在安裝有SF6設備的配電裝置室的工作人員提供人身健康安全保護而量身設計、開發的智能型在線監測系統。
