六氟化硫電氣設備水分嚴重超標將危害絕緣，影響滅弧，并產生有毒物質。斷路器含水量較高時，很容易在絕緣材料表面結露，造成絕緣下降，嚴重時發生閃絡擊穿。含水量較高的氣體在電弧作用下被分解，六氟化硫氣體與水分產生多種水解反應，產生三氧化鎢、氟化銅等粉末狀絕緣物，其中氟化銅有強烈的吸濕性，附在絕緣表面，使沿面閃絡電壓下降，氫氟酸、亞硫酸等具有強腐蝕性，對固體有機材料和金屬有腐蝕作用，縮短了設備壽命。六氟化硫氣體水分的危害不僅僅只針對設備，實際上水分超標還會導致SF6氣體及在高溫電弧作用下產生的有毒分解物排放到大氣中，傷身又危害環境。
我們首先得明白的是六氟化硫(SF6)氣體的化學性質非常穩定,在空氣中不燃燒,不助燃,與水、強堿、氨、鹽酸、硫酸等不反應，純凈的高純六氟化硫氣體在不存在窒息條件時是非常安全無害的存在，然而由于氣體提取技術不過關或者是鋼瓶處理保存不到位，亦或者是長期循環使用過的SF6氣體中難免會含有一定量的水，極微量的水分造成不了威脅，但是當水分含量超標時，六氟化硫氣體水分的危害非常巨大!
實際上在SF6氣體生產的過程中會受到生產設備的材質、工藝條件等因素的影響，除在合成過程中產生的水分外，在氣體的充裝過程中還可能混入少量的水分。為了預防可能的六氟化硫氣體水分的危害，國家對于SF6氣體的質量指標有著嚴格的規定，要求生產廠家在供貨時提供生物試驗無毒證明書，要求對出廠的SF6產品國際電工委員會(IEC)及許多國家均制定了質量標準。除了氣體中的水分之外，設備中同樣可能混有水分!絕緣件帶入的水分。原因是在長期運行中，有機絕緣材料內部所含的水分慢慢釋放出來導致含水量增加。吸附劑帶入的水分。原因是吸附劑活化處理時間過短，安裝時暴露在空氣的時間過長。透過密封件滲入的水份。原因是大氣中水蒸氣分壓為設備內部的幾十倍甚至幾百倍，在壓差作用下水分滲入。設備滲漏。原因是充氣接口、管路接頭、鑄鋁件砂孔等處空氣中的水蒸氣滲透到設備內部，造成微水升高。這種種緩解都是可能引起六氟化硫氣體水分的危害的原因。
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