13，標(biāo)配質(zhì)量流量計(jì):0-50SCCM（ml/min）量程：50SCCM --溫度：常溫,壓差：0.1Mpa--輸入/出信號(hào)：0-5V-----供電：24VADC-----連接方式：3mm卡套接頭；質(zhì)量流量計(jì)可以根據(jù)客戶需求更換不同量程的質(zhì)量流量計(jì)

14，真空泵：V-I125-R32(1.5升無刷電機(jī))；

15，試樣夾具：28*65*20標(biāo)配（可選擇其他規(guī)格）

16，壓差傳感器：選擇0-5KPA(4-20MA)，0.075級(jí)精度；

17，負(fù)壓壓力傳感器：-100KPA-0，精度千分之一，帶液晶顯示；

18，內(nèi)置高精度負(fù)壓調(diào)壓閥；

A測試腔

測試腔有一個(gè)用于容納供試包裝的下腔體和用于關(guān)閉測試腔的上腔體。圖1示出了專門用于測試透氣屏障蓋材包裝的測試腔。測試夾具上蓋有一個(gè)彈性囊,用來在測試過程中覆蓋包裝的透氣屏障。圖示出了用于測試非透氣硬包裝的測試腔。后兩種測試腔沒有彈性囊。

B托盤槽或下腔體

測試腔的下半部分其尺寸設(shè)計(jì)成緊密貼合供試包裝的外形,同時(shí)也要使氣體易于環(huán)繞供試包裝流動(dòng)。如果氣流不能環(huán)繞包裝流動(dòng),泄漏點(diǎn)會(huì)被堵塞。相反,測試腔和測試包裝之間的間隙越大,檢漏靈敏度越差,因?yàn)樵谳^大的測試腔體中,來自包裝泄漏的真空衰減將會(huì)減小。

C上蓋或上腔體

被設(shè)計(jì)成能嚴(yán)實(shí)地密封閉合后的測試腔。

D真空衰減測試系統(tǒng)

真空衰減測試系統(tǒng)由一個(gè)真空源和壓力傳感器組成。真空源用于在測試周期開始時(shí)在測試腔內(nèi)建立所需的真空,而一只壓力傳感器(絕壓或表壓)或與另一只壓差傳感器結(jié)合,前者用來監(jiān)測真空度,后者用來監(jiān)測在測試周期內(nèi)壓力隨時(shí)間的變化。預(yù)期使用較高目標(biāo)真空度(如+1mbar或不到+1mbar,)的測試系統(tǒng),宜設(shè)計(jì)成較高的目標(biāo)壓力測量精度和最小的系統(tǒng)泄漏,氣體外泄可能影響測試中測量信噪比。

E絕壓傳感器與表壓傳感器對(duì)比

所有儀器都包括一只用來監(jiān)測在整個(gè)測試周期中測試壓力的傳感器。當(dāng)需要精密而真實(shí)的壓力讀數(shù)時(shí)(即不受因氣候或海拔導(dǎo)致大氣壓變化的影響),絕壓傳感器優(yōu)于表壓傳感器。當(dāng)進(jìn)行高真空度下液體泄漏測試時(shí),采用絕壓傳感器。

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