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日本電子掃描鏡SU5000

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產品型號SU5000

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更新時間：2022-01-22 11:47:57瀏覽次數：665次

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產品簡介

日本電子掃描鏡SU5000

詳細介紹

日立SU5000高智能多開放式場發射掃描電鏡方案
服務電話

*部分：配置（P2）
第二部分：技術參數(P3)

*部分：配置報價

序號	貨號	設備名稱	數量	備注
1	主機	Model SU5000 SEM SU5000 型場發射掃描電鏡主機 Lower Secondary Electron Detector 低位二次電子探測器 100x50mm 5-axis motorized stag 100x50 五軸馬達驅動樣品臺 Objective movable aperture holder: 4 holes with click-stop design(20, 30, 70, 150 µm dia.) 4孔物鏡活動光闌桿（孔徑20, 30, 70, 150 µm），附帶自清潔裝置 Rotary pump 機械泵 Turbo Molecular Pump(TMP) 250 L/s，x1 分子泵，250 L/s x1 Ion pump: 30 L/s 20 L/s 離子泵：30 L/s 20 L/s Control System,including PC,Keyboard,Mouse,Rotary Knob 控制單元，包括電腦、鍵盤、鼠標、多功能旋鈕板 EM Wizard 電鏡助手功能（高自動化） Connector for DBC 能譜接口（外掃描控制器） Auto Standard sample correction 自動標準樣品校正	1套
2	510-9808	SDM with CD-Measurement Function for SU5000 14S 高精度測量軟件（離線版，允許10臺電腦使用）	1套
3	511-5739	Auto-Transformer for SU5000 15K 變壓器, 7kVA	1個
4	耗材	耗材（光闌、導電膠帶、泵油等）	1套
5		空壓機	1套
6	國內采購	顯示器	1套	-
報價：美金

第二部分：技術參數

高自動化場發射掃描電鏡技術參數

1. 運行環境：
1.1 房間溫度：15 ~ 25℃
1.2 相對濕度：小于60%
1.3 適用電源：單相，220V±10%，50/60Hz，4kVA，要求連續供電
1.4 地線：接地電阻不小于40Ω
2.技術參數
2.1 組成：主機(包括真空系統、電子光學系統、檢測器系統)，自動變壓器，計算機，標準工具及附件。
2.2 電子槍：肖特基熱場發射電子槍，引出電壓, 2.5kV – 4kV （*小步進10V）
2.3 分辨率
2.3.1 SE分辨率 30kV：1.2nm
1kV:3.0nm
1kV:2.0nm（減速I）
1kV：1.6nm（減速II）
2.4 加速電壓：0.5 ~ 30kV （減速下*低電壓0.1kV）
★2.5束流：高、低真空下均大于200nA（高、低真空模式下同時滿足，有利于檢測能力）
★2.6放大倍率
底片倍率：10–600,000x；顯示器倍率：30–1,500,000x （1280x960像素）；
可同時顯示以顯示器為準和以底片為準的兩種模式的放大倍率
★2.7 物鏡光闌：4孔可調式，光闌孔徑（150/70/30/20um），內置標配加熱自清潔裝置（以便于增加光闌使用壽命），含位置感應器
2.8 掃描線圈：兩級電磁透鏡偏轉
★2.9透鏡系統：3級電磁透鏡系統
2.10像散矯正單元：八極電磁消像散
★2.11抽屜式大開倉結構，樣品臺安裝在倉門上。
★2.12樣品臺驅動：5軸優中心馬達驅動樣品臺。
X：±100mm；Y：±50mm；Z：3-65mm；★ T: -20 to 90 deg；R: 360deg
2.13 樣品大小：≥200mm（直徑），≥80mm（高度）
2.14 探測器：配備獨立的二次電子探測器
2.15 圖像導航：自動圖像導航，且擁有三維圖像導航功能
2.16 真空系統：
真空度：10^-7Pa (電子槍)；7×10^-4Pa (樣品室)
分子泵（磁懸浮型）250L/s×1；
機械泵133L/min×1臺；
離子泵30L/s×1,20L/s×1臺
保護：斷電、漏電、真空保護
★2.17 儀器標配特殊材質標準樣品，具有自動標準樣品校準功能。無需工程師維護，便于提高電鏡實時精度。
★2.18配備高自動化輔助操作軟件高級功能：：標準模式和高級模式，觀察助手模式，像散調節訓練模式，操作向導，應用助理，傾斜輔助，樣品臺記憶和移動，圖片導航，操作條件文件保存，放大倍率預設，視頻輸出。（提高便捷自動化使用功能）
2.19 掃描模式：至少包含Rapid scan、Fast Scan、Slow scan、Reduce scan、CS scan、spot mode
2.20 圖像儲存：BMP、TIFF、JPEG，640×480，1280×960，2560×1920，5120×3480像素
2.21 捕捉的圖片可存儲在臨時圖片欄內，可選擇單張存儲或批量存儲，可自動連續命名
2.22 數據記錄：放大倍率，加速電壓，工作距離，日期，時間，編號，信號類型
2.23 捕捉的圖片可存儲在臨時圖片欄內，可選擇單張存儲或批量存儲，可自動連續命名
2.24 自動功能：自動校準，自動亮度對比度，自動對焦，自動消像散和對焦控制，自動開啟，自動電子束偏移
★2.25 擴展接口：至少為12個，以便于后期擴展功能
★2.26 用戶可自行完成紅烘烤維護和鏡筒合軸維護