露點儀檢定方法光電檢測熱電制冷鏡面冷凝式精密露點儀，主要由三大部分組成：
（1）高重復性的鏡面控溫伺服機構；
（2）準確地測量鏡面溫度的溫度測量系統；
（3）判斷以下露點時，鏡面上生成的是霜（冰）還是露（過冷卻水）的裝置。
露點儀工作過程基本是：被測量氣體通過露點測量室時掠過冷鏡面，當鏡面溫度高于該氣體的露點溫度時，鏡面呈干燥狀態，此時，發光二極管發出的光照在鏡面上，差不多全反射，由光電傳感器感應到并輸出光電信號，經控制回路比較、放大，驅動熱電泵（由壹級或數級Peltier元件組成），對鏡面制冷，當鏡面溫度降至樣氣的露點溫度時，鏡面上開始結露（或霜），光照在鏡面上后出現漫反射，光電傳感器感應到的反射光信號隨之減弱，此變化經控制回路比較、放大后調節熱電泵激勵，使其制冷功率減小，這樣通過自動控制使冷鏡面上的露（或霜）與氣體中的水蒸氣呈相平衡狀態，此時通過鏡面冷凝狀態觀察鏡，可以判斷鏡而上的冷凝物是液態的露（呈圓或橢圓形）還是固態的霜（呈晶形），鏡面溫度由一緊貼在冷鏡面下方的鉑電阻溫度傳感器感應，準確測量出鏡面的溫度（即露或霜層的溫度），從而獲得氣體的露點溫度。
從上述工作過程，可清楚地看出露點儀屬于精密的濕度測量儀，檢定中需要注意的事項、要求的條件比較多。先是環境條件：
檢定環境溫度要求穩定。也就是用自來水或循環冷卻液作為冷卻劑冷卻熱電泵之散熱端時，冷卻劑的溫度和流量應相對恒定，使用風冷時，環境溫度應相對恒定。一般工作溫度在5～35℃之間。有不一樣的要求者，按其要求確仁是否在恒溫條件下檢定。露點測量室和采樣系統的溫度應高于待測氣體的露點溫度，免在管路中就開始結露，這實際是要求濕度源提供的氣流濕度不能過分高。
當露點測量室出氣端通大氣放空時,露點測量室內的壓力等于大氣壓。當露點測量室內樣氣壓力的波動大于200Pa/h時，不能進行檢定。當露點測量室內樣氣壓力偏離標準大氣壓（101325Pa）200Pa以上，但波動小于200Pa／h時，可用計算的方法對檢定結果加以修正（已配備了自動壓力修正系統的儀器除外）。 環境濕度要求在30％RH～85％RH之間。
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