1、精度和長期穩定性
濕度傳感器的精度應到達±2%~±5%RH，達不到這個程度很難作為計量用具運用，濕度傳感器要到達±2%~±3%RH的精度是比擬艱難的，通常產品材料中給出的特性是在常溫（20℃正負10℃）和干凈的氣體中丈量的。在實踐運用，塵土、油污及有害氣體的影響，運用時間一長，會產生老化，精度降落，濕度傳感器的精度程度要分離其長期穩定性去判別，普通說來，長期穩定性和運用壽命是影響濕度傳感器質量的*問題，年漂移量控制在1%RH程度的產品很少，普通都在±2%左右。
2、濕度傳感器的溫度系數
濕敏元件除對環境濕度敏感外，對溫度亦敏感，其溫度系數普通在0.2~0.8%RH/℃范圍內，而且有的濕敏元件在不同的相對濕度下，其溫度系數又有差異。溫漂非線性，這需求在電路上加溫度補償式。采用單片機軟件補償，或無溫度補償的濕度傳感器是保不了全溫范圍的精度的，濕度傳感器溫漂曲線的線性化直接影響到補償的效果，非線性的溫漂常常補償不出較好的效果，只要采用硬件溫度跟隨性補償才會取得真實的補償效果。濕度傳感器工作的溫度范圍也是重要參數。多數濕敏元件難在40℃以上正常工作。
3、羅卓尼克溫濕度傳感器的供電
金屬氧化物陶瓷，高分子聚合物和氯化鋰等濕敏資料施加直流電壓時，會招致性能變化，以至失效，所以這類濕度傳感器不能用直流電壓或有直流成份的交流電壓。需是交流電供電。
4、互換性
目前，濕度傳感器普遍存在著互換性差的現象，同一型號的傳感器不能互換，嚴重影響了運用效果，給維修、調試增加了艱難，有些廠家在這方面作出了種種努力，（但互換性仍很差）獲得了較好效果。
5、維薩拉溫濕度校正
校正濕度要比校正溫度艱難得多。溫度標定常常用一根規范溫度計作規范，而濕度的標定規范較難完成，干濕球溫度計和一些常見的指針式濕度計是不能用來作標定的，精度無法保，因其請求環境條件嚴厲，普通狀況，（在濕度環境條件下）在缺乏完善的檢定設備時，通常用簡單的飽和鹽溶液檢定法，并丈量其溫度。
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