FitTech裸晶測試儀整合型LED晶粒晶圓點測機
標準配備
1.機構部分：
X、Y、Z、θ軸（精度詳見規格）
Chuck table（非導電盤&導電盤，共2塊）
XYZ 調整座 2 座
Edge Sensor 2 座
彩色CCD 1組，1倍鏡頭，供掃描定位用、供探針定位、外觀檢視用
掀開式遮光罩
電控箱
分光卡：350nm-1050nm

詳細介紹

FitTech裸晶測試儀整合型LED晶粒晶圓點測機

型號：APT 6000

標準配備

1. 機構部分：

X、Y、Z、θ軸(精度詳見規格)

Chuck table（非導電盤&導電盤，共2塊）

XYZ 調整座 2 座

Edge Sensor 2 座

彩色CCD 1組，1倍鏡頭，供掃描定位用、供探針定位、外觀檢視用

掀開式遮光罩

電控箱

分光卡：350nm-1050nm

選配部分：

清針模塊 (毛刷 & 貼片 & 吹氣)

è 毛刷及貼片為耗材，依客戶的使用狀況決定更換次數

ESD 模塊：HBM/MM ± 4 KV

è Relay 壽命保證：6個月或2億次(以先到為主)

2. 測試機部份

電源供應器：SF

Tester基本架構圖如下：APT6000

3. IPC 部分

*處理器：雙核心 CPU G3420 3.2 GHz

存儲器：4G

硬盤：500G

17”LCD或以上熒幕、光學鼠標、鍵盤

作業系統 : Win 7

l 通用規范.

項目	描述說明	規格
工作面積	2~7.8英寸	198mm
卡盤	平面化	±0.01 mm
X 軸	大行程	200 mm
	分辨率	0.5 μm
	精度	< 10 μm over 100 mm
Y 軸	大行程	300 mm
	分辨率	0.5 μm
	精度	< 10 μm over 100 mm
Z 軸	大行程	8 mm
	分辨率	1.2 μm
	精度	< 5 μm over 30 mm
θ axis	軸旋轉范圍	± 30°
	分辨率	0.0018°
	精度	< 10 μm over 160 mm
機器視覺	攝像機	CCD
	照明	遙控
	焦距	手動調整
	校準	自動校準
	CCD 分辨率	1280*960 像素
	透鏡放大倍數	1x
	屏顯	6.4mm × 4.8 mm

l 測試規格.

l 測量表 : SF

l 廠務需求

項目	單位	規格
機器尺寸W × D × H	mm	930x900x1670
機器重量	Kg	600
電源	V	110
電源電流	A	13
氣壓	Kgf/cm²	5
空氣流量	NL/min	5
空氣管直徑	mm	ψ10
真空壓力	mmHg	-660
真空流量	NL/min	40
真空管直徑	mm	ψ6