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上海倍藍(lán)光電科技有限公司

SEM主動隔振平臺的作用與使用要求

時間:2023-2-17 閱讀:1680
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SEM-Base® VI是下一代STACIS主動壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設(shè)計用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡(SEM)以及許多聚焦離子束(FIB)和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強(qiáng)大的控制器和**圖形用戶界面(GUI)。SEM-Base VI使許多實驗室和設(shè)施達(dá)到了滿足工具制造商規(guī)格所需的地面振動水平。 

SEM-Base VI采用“串行結(jié)構(gòu)",其中的振動傳感器測量地面振動,而不是有效載荷振動。與其他設(shè)計不同,這確保了有效載荷共振不會限制隔振或造成不穩(wěn)定。振動傳感器是低頻慣性速度傳感器,在難以測量的亞Hz范圍內(nèi)具有**靈敏度。結(jié)合壓電致動器技術(shù),SEM-Base VI即使在安靜的地面上也能實現(xiàn)*高的消振水平。 

SEM-Base VI可提供與以前型號平均高6 dB的隔振。此外,TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的雙核處理器,為工具所有者和研究人員提供了一個非常簡單易用的圖形界面,可實現(xiàn)快速系統(tǒng)評估和安全操作。通過以太網(wǎng)連接時,DC-2020將在用戶的瀏覽器中創(chuàng)建SEM-Base GUI,無需安裝其他軟件或應(yīng)用程序。此外,用戶也可以通過板載菜單驅(qū)動的液晶顯示器(LCD)與控制器連接。

注意:請參見SEM-Closure,這是一種專為保護(hù)SEM而設(shè)計的整體環(huán)境解決方案。它可以將SEM-Base和Mag-NetX® 固定在一個密封和溫控聲學(xué)室中 - 從而保護(hù)SEM免受振動、磁場干擾和聲學(xué)噪聲的影響。

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尺寸與環(huán)境要求

環(huán)境和安全符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)
主動隔振元件**小承重能力為3300磅(1500千克)的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號,其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷
被動隔振元件單個硬彈性體(無需壓縮空氣源)
振動傳感器元件向下的地震檢波器型慣性傳感器,用于測量隔振器下方的地面振動,并提供與振動運動速度成正比的電壓
主動反饋控制回路在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和支撐隔離面
尺寸(寬*深)35.25 x 44.25英寸
895 x 1124毫米
高度標(biāo)稱6.3英寸(160毫米),
SEM-Base關(guān)閉時不會改變
工作溫度50° - 90° F
10° - 32° C
儲存溫度-40° - 130° F
-40° - 55° C
濕度30 - 60%
系統(tǒng)電源要求100、120、230、240 VAC
50/60 Hz AC; <600 W
符合CE標(biāo)準(zhǔn)
地面位移<800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>

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