主要功能：
1、對裝置本機(jī)以及電器設(shè)備抽真空和真空度的測量；
2、設(shè)計(jì)*，功能齊全，結(jié)構(gòu)合理，操作簡潔明了。
3、真空度數(shù)字顯示，實(shí)時(shí)顯示真空度數(shù)據(jù)顯示單位為帕
4、系統(tǒng)采用兩級真空泵（羅茨真空泵，單極真空泵）組合而成，通過管道閥門串聯(lián)連接，為更高真空度要求設(shè)備提供可靠的輸送動力。
5、真空泵自帶防油系統(tǒng)，防止運(yùn)行過程中返油。
8、具有自動邏輯控制，抽真空時(shí)，真空傳感器對系統(tǒng)真空度進(jìn)行即時(shí)監(jiān)測，羅茨泵的啟動運(yùn)行由系統(tǒng)真空度自動調(diào)節(jié)控制。
9、設(shè)備裝置工作時(shí)，首先啟動皮帶真空泵，當(dāng)系統(tǒng)真空度小于2000Pa時(shí)，自動啟動羅茨真空泵，兩級真空泵同時(shí)工作，保證對外抽真空的高真空度要求。
10、抽送完畢，對外接系統(tǒng)設(shè)備進(jìn)行真空度檢測時(shí)，系統(tǒng)自動關(guān)閉兩級泵管路電磁閥，并查看真空顯示器的回升情況。
11、裝置電氣系統(tǒng)三相電源自動確認(rèn)切換、斷相自動保護(hù)。
12、裝置控制系統(tǒng)采用SF6專用閥門。
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