六氟化硫氣體回收充氣裝置，使用人員應具備設備使用基本操作方法和設備運轉流程。
六氟化硫氣體回收充氣裝置設備主要功能：抽真空、回收氣體、充氣、氣體干燥、氣體液化、氣體汽化等。
設備采用設備負責人制度，設備負責人負責設備的使用、維護、及保養工作。操作使用設備至少兩人參加。
設備參數
設備性能參數
1)設備電源為380V
2)工作環境溫度 -10～+40℃
3)工作環境：周圍無腐蝕性化學物品，通風良好。不受其它熱源輻射的地方運行。設備主要部件參數
1)SF6壓縮機
功率 潤滑油 HD25冷凍油 最小允許吸氣壓力53KPa 最大允許吸氣壓力
允許排氣壓力 最大排氣壓力
2)真空泵
抽氣速度 15L/s 極限真空 ≤6×10-2 潤滑油 HD25冷凍油 功率3)制冷機組
標準制冷量 4600Kcal/h 制冷劑R22 制冷劑最大充注量 潤滑油 HD25冷凍油4)容器
儲存容器容積180L 儲存容器儲液量 180Kg 液化容器容積 40L 液化容器儲液量 40Kg設備技術參數
1)回收
初壓力 終壓力 ≤ 1立方米容積所須時間≤m3
2)充氣
初壓力≤133Pa 終壓力≤ 1立方米容積所須時間≤m3
3)抽真空
極限真空≤10Pa 年泄露率≤1﹪ 抽真空從至133Pa需要時間≤m3 真空保持從133Pa經24小時上升值≤400Pa
4)儲存容器
儲存壓力 容積220L 儲液量220kg5)總功率≤11kw
6)設備自重≤1000kg
*從表壓回收到0Mpa表壓時間小于小時/立方米。 *從0Mpa表壓回收到時間小于小時/立方米。*管道通徑為DN2O，管道長度5米。 *指氣源含水量為1000PPM/V時，經一次回收干燥后氣體含水量。(二)操作前準備工作
設備的管路連接：采用專用的鋼編軟管連接、軟管連接頭，連接處用密封圈密封。檢查電源相序：接上電源后，設備儀表和指示燈不亮時，則相序錯誤。搬動相序轉換后設備可恢復正常。(三)操作順序及方法
裝置自身抽真空
a)首先確認裝置全系統無壓力。若有壓力，需開啟相關閥門將壓力放空至0表壓。隨后用軟管將裝置進口和出口連接起來，依次開V2、V3、V4、V7、V8、V9、V71（V71置于右側板門內）。
b)觀察進氣口壓力表M1，確定進氣口壓力表M1顯示不大于0表壓。若進氣口壓力表M1顯示大于0表壓，應先排空系統內的壓力使進氣口壓力表M1顯示不大于0表壓。
c)啟動真空泵電源，打開V1，對裝置自身抽真空。
d)開真空計電源，觀察真空度。
e)當真空計VM顯示達到極限真空后，依次關真空計電源、V71、V9、V8、V7、V4、V3、V2、V1，關閉真空泵電源，抽真空結束。
對開關設備抽真空
a)用軟管將開關設備與裝置進口端連接起來。
b)開V2和開關設備的閥門。
c)確定進氣口壓力表M1顯示不大于0表壓后，啟動真空泵電源，開啟V1，對開關設備抽真空。d)開真空計電源，觀察真空度。當真空計VM顯示達到所要求值后，依次關真空計電源，關設備閥門、V2、V1、和真空泵電源，抽真空結束。
回收儲存
a)啟動制冷機組，開V7和V9，使液化容器和儲存容器內壓力（由壓力表M4和M5指示）低于～,關V7和V9。
b)將軟管與裝置進口端連接起來。
c)開V2，確定進氣口壓力表M1在0表壓以下后，啟動真空泵電源，開V1對軟管抽真空。
d)開真空計電源，當真空機VM顯示達到極限值時，可以認為軟管內空氣已抽凈，依次關真空計電源、V1、V2和真空泵電源。
e)把軟管與開關設備連接，依次開啟V2、V5、V8、V9、壓縮機電源，調節減壓閥V61（出廠已整定，一般不需要調節）使壓縮機進氣口壓力表M2顯示小于,對容器內的SF6氣體進行回收，同時進行凈化和儲存。f)當壓縮機進氣口壓力表M2低于或達到所要求回收終壓時，依次關開設備閥門、V2、V5、V8、V9、壓縮機電源、制冷機組電源，回收結束。
利用儲存容器內部壓力充氣
a)將軟管與裝置出口端連接起來。根據不同用途，必要時可在裝置出口端加裝減壓器。
b)對軟管抽真空（開V3、真空泵和V1，方法同上。結束時注意關閉V3、V1、真空泵、真空計、把軟管與開關設備連接）。
c)開V9，使SF6液化容器內可能存有的SF6液體流入SF6液態儲存容器，再開開關設備閥門，慢慢打開V4，向SF6開關充氣。
d)若充氣后儲存容器內的SF6氣體壓力下降與被充開關壓力趨于仍有液體存在時，可打開SF6氣化電加熱器，是液態SF6充分氣化，以提高儲存容器內SF6氣體壓力。
e)當開關設備內達到所需壓力值時，應先關閉氣化電加熱器電源，在關閉V9、V4、開關設備閥門，開關設備閥門，充氣結束。
利用壓縮機充氣
a)當儲存容器（包括SF6儲存容器和SF6液化容器）內壓力低于開關設備所需的工作壓力，且液位計已看不到液位，而開關仍需少量SF6氣體時，才能用此操作。
b)連接軟管至裝置出口端。并對軟管抽真空。
c)開啟開關設備閥門、V8、V4，然后再開V6和壓縮機電源，對開關設備充氣。
d)當開關設備內達到所需壓力值時，關V6和壓縮機電源、V8、V4、開關設備閥門充氣結束。
對鋼瓶充灌SF6液體
準備工作：
a)用軟管將鋼瓶與裝置出口端連接起來，并對軟管抽真空。
b)根據需要可回收并抽凈鋼瓶內殘余的SF6氣體至負壓，必要時，可對鋼瓶抽真空。
方法：在SF6液態儲存容器液位已達極*充灌鋼瓶a)開V7、制冷機組電源，在制冷機組作用下，使SF6液化容器內的SF6不斷增加已達到一定的液位，關閉V7，并使SF6溫度TM繼續降至-10～0℃左右。
b)同時打開SF6液態儲存容器氣化電加熱器，使SF6液態儲存容器內的SF6壓力上升至左右。
c)開鋼瓶閥門V4，開V7加壓，向鋼瓶充灌SF6液體，一般可充45kg。
d)結束時，關V7、鋼瓶閥門、V4、氣化電加熱器，開V3、V5、V8,用壓縮機將軟管內SF6液體回收到液化容器內后，關閉所有閥門，停機。
SF6氣體的循環干燥凈化處理
a)啟動制冷機組，開V7和V9,使液化容器和儲存容器內壓力（由壓力表M4和M5指示）低于～,關V7和V9。
b)開V8、V9，開壓縮機電源，開V6，進行循環干燥凈化處理。
c)循環干燥凈化處理一段時間（約半小時）后，關V6、壓縮機電源、V8、V9，和制冷機組電源，循環干燥凈化處理結束。
分子篩再生
a)開V71和V3，先將干燥過濾器內的SF6氣體放凈。
b)確定進氣口壓力表M1在0表壓以下后，關V3，啟動真空泵電源，開V1和真空泵電源，開V1和真空計電源，對干燥過濾器抽真空。
c)開干燥過濾器電加熱電源，持續約4小時。關閉干燥過濾器電加熱電源，繼續抽真空直到干燥過濾器冷卻到室溫。
d)關真空計電源、V71，最后關V1和真空泵電源。
（四） 注意事項
1.當環境溫度低于5℃時，應對真空泵、SF6壓縮機進行預熱，提高潤滑油溫度后，才能啟動。
2.電源線中的接地線必須可靠接地。
3.不操作分子篩再生時，禁止啟動干燥過濾器電加熱器。
4.當M1表指示被抽容器壓力大于0表壓，禁止啟動真空泵、真空計。
5.真空泵、壓縮機、制冷機組不得頻繁啟動。
6.不做SF6氣化加壓時，禁止啟動氣化加熱器。
7.回收、充氣或灌鋼瓶操作前先對連接膠管抽真空。
8.操作加熱器時，應注意儲存容器溫度不宜超過+30℃。
9.操作制冷機組時，應注意液化容器溫度不宜低于-30℃。
10.做其他實驗時，應斷開設備電源和連接軟管，以免損壞設備。
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