編者按： MEMS （Micro Electro Mechanical System） ，即微機(jī)電系統(tǒng)，是采用現(xiàn)代加工工藝和材料生長及合成技術(shù)制造的具有機(jī)械、電子及其他物理特性的微系統(tǒng)。大多數(shù)的微機(jī)電系統(tǒng)是借用了大規(guī)模集成電路的主要工藝構(gòu)筑在硅片上的。因而這一類的產(chǎn)品也稱之為“微機(jī)電系統(tǒng)芯片”。
在一百多年，這種全電子式技術(shù)一直是全球各個國家攻克的一項(xiàng)重要課題。 而總部位于美國加州硅谷的美國矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司是目前世界上唯一生產(chǎn)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、低功耗、超大量程 MEMS流量芯片的廠商。其核心部件MEMS流量芯片及其專利封裝技術(shù)由公司自主研發(fā)，可用于各類氣體及微流體的流量計量和測控，為傳統(tǒng)流體計量帶來了根本的變革，提供了全新的拓展空間。
在多國展上，我們有幸采訪到矽翔公司的創(chuàng)始人黃立基博士，與他展開了一頓關(guān)于技術(shù)、關(guān)于矽翔的愉快對話。
Ybzhan：各位網(wǎng)友觀眾大家好！這里是2010年北京多國展的現(xiàn)場，我們現(xiàn)在所在的位置矽翔微機(jī)電的展臺。所在我身邊的是矽翔的創(chuàng)始人黃立基博士。感謝黃博士在百忙之中接受我們中國儀表展覽網(wǎng)的采訪。請黃博士跟我們鏡頭前的網(wǎng)友打一聲招呼。
黃博士：大家好，謝謝！
Ybzhan：我們知道黃博士是矽翔公司的負(fù)責(zé)人，現(xiàn)在請您為我們介紹一下這家目前世界上唯一生產(chǎn)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、低功耗、超大量程 MEMS流量芯片廠商現(xiàn)在的發(fā)展?fàn)顩r？
黃博士：好，謝謝大家。我現(xiàn)在大致為大家介紹一下公司目前整個發(fā)展?fàn)顩r。我們公司是2004年在美國硅谷注冊成立的，是美國的風(fēng)險投資注資，加上我們的技術(shù)成立的。公司成立的初衷是希望用MEMS這種技術(shù)來取代傳統(tǒng)機(jī)械的這種技術(shù)，應(yīng)用于能源的計量。
因?yàn)楝F(xiàn)在全球能源管理與計量都是一個重要的課題，全球也有很多地方在做這件事情。特別是金融危機(jī)以來，各個國家都用了很多刺激經(jīng)濟(jì)的錢或基金來做能源管理的問題。現(xiàn)在大概有100多個國家都有這方面的項(xiàng)目或議題，而歐美是做得多的。
在這里，電表和電器管理是做得比較好的。因?yàn)殡姳斫?jīng)過上個世紀(jì)八十年代到2000年這二十年的發(fā)展，全部由機(jī)械電表轉(zhuǎn)化成電子電表。那么它的管理功能、性能、網(wǎng)絡(luò)化管理比較容易多了。但是另外兩個主要的能源，水和氣還是機(jī)械為主。全球百分之九十九點(diǎn)九都是使用機(jī)械的東西。
機(jī)械的表要把它的信號導(dǎo)到電信號的轉(zhuǎn)化，再傳輸出去的話，成本非常昂貴。同時，雖然機(jī)械技術(shù)它有很多優(yōu)點(diǎn)，它也有很多缺點(diǎn)。特別是對天然氣來講，它的機(jī)械技術(shù)不能做溫度壓力的，這對于公平貿(mào)易計量來說是有缺陷的。因?yàn)榈蕉斓臅r候，氣體就會壓縮，同樣的體積下的氣體跟夏天的狀況就不一樣，交的錢也就不一樣等等，這些都是一些問題，但是一百多年來都沒有解決，我們是希望用新型的電子技術(shù)來解決這樣一些問題，來適應(yīng)未來能源管理的一些發(fā)展，這些也是我們公司產(chǎn)品核心的發(fā)展。
04年，我們把芯片研發(fā)出來，05年開始在國內(nèi)成立子公司，然后展開這方面的應(yīng)用技術(shù)研發(fā)，和包括和國內(nèi)燃?xì)夤镜囊恍┖献鳎瑏黹_發(fā)更適合國內(nèi)的燃?xì)夤芾淼漠a(chǎn)品。到目前來說的話，經(jīng)過了這三四年的發(fā)展，我們的產(chǎn)品基本算是成熟了。今年開始，我們開始準(zhǔn)備逐步大規(guī)模的推向市場。
從國內(nèi)公司客戶關(guān)注的程度來看，我們跟國內(nèi)大的燃?xì)夤救細(xì)饧瘓F(tuán)公司在討論戰(zhàn)略合作關(guān)系，有些協(xié)議正在簽署之中。今年為作為企業(yè)比較大的動作，像國內(nèi)比較大的燃?xì)夤荆热绺刍細(xì)狻⒅袊細(xì)狻⑷A潤集團(tuán)、包括中石油，我們都在跟他們進(jìn)行早期、中期、長期的合作。總得來說，國內(nèi)一些燃?xì)獾目蛻簦瑢ξ覀兊漠a(chǎn)品還是給予很高的期待，他們也非常愿意在各方面跟我們合作。
所以我個人認(rèn)為，在國內(nèi)這一塊，應(yīng)該從今年下半年到明年開始，會有很大的變化。我們也在跟國家的一些政府部門，包括國家計量師做一些溝通，也參加了相關(guān)兩個國家標(biāo)準(zhǔn)的制定。那我想的話，下面我們還會有一些標(biāo)準(zhǔn)的推動，通過這些東西，對國內(nèi)能源管理水平在全球會有一個領(lǐng)先的地位。
從世界來講，我們在和歐洲、北美的一些燃?xì)夤具M(jìn)行溝通與合作，現(xiàn)在我們在通過歐美的一些認(rèn)證。做完這一步，我們將加快在歐美市場的拓廣。包括拉丁美洲、南亞都有很多客戶對這方面的技術(shù)關(guān)心。因?yàn)榫同F(xiàn)在全球來講，全電子式的燃?xì)饧夹g(shù)應(yīng)該是從85年開始，美國的一家公司開始做，但是做到現(xiàn)在，真正商業(yè)化的公司，除了我們還沒有另外一家。
當(dāng)然，我們也有很多的挑戰(zhàn)，我們的產(chǎn)品也有很多需要進(jìn)一步完善的地方。但是我覺得我們有一個比較好的起點(diǎn)。在這基礎(chǔ)上，我對未來的發(fā)展是充滿了信心。謝謝！
Ybzhan：我們知道黃博士個人獲得了很多的科研獎項(xiàng)，本身也是美國電氣電機(jī)工程學(xué)會資深會員，那在這一系列從事儀器儀表行業(yè)的過程中，您能不能為我們談一下您印象深刻的幾件事。
黃博士：實(shí)際上，我原來是個外行人，對這個行業(yè)也不是很了解。但真正開始 進(jìn)入做這個行業(yè)才知道，這個行業(yè)實(shí)際上是非常困難的。機(jī)械技術(shù)它存在了160年，有這個原因，很多人想去改變這個狀態(tài)，實(shí)際上有很多個人公司包括國外的一些大公司，比如日本的松下、日立、東京燃?xì)狻⒋筅嫒細(xì)獾龋悄壳斑@個技術(shù)還沒有真正能夠推向市場。這其中當(dāng)然包括各種原因，比如各個國家的法規(guī)法令因素。但是我總覺得，從計量角度，燃?xì)馐菑?fù)雜的。因?yàn)樗婕暗蕉喾N技術(shù)，比如各種不同的流量端、溫度、壓力、以及包括燃?xì)飧鞣N狀態(tài)，它實(shí)際上是流量當(dāng)中復(fù)雜的技術(shù)。
但是我覺得，也很好，我們選擇了一個難做的事情，那么這件事情做得差不多了，那么對很多相對比較容易的事情就比較簡單一點(diǎn)。比如我們現(xiàn)在除了燃?xì)庖酝猓€在跟其他行業(yè)，比如醫(yī)療行業(yè)，醫(yī)療行業(yè)它在未來有很多這方面的需求，舉個簡單的例子，比如注射，像注射的針頭，過去的話，它是根據(jù)壓力慢慢來推動，那么速度會有所不同，同時也會產(chǎn)生一些氣泡，這些氣泡注射到人體，肌肉會不舒服。現(xiàn)在我們在跟國外的一些大的公司在合作，用流量來控制注射的快慢，這樣的話，人體就會比較舒服，探測到氣泡也可以報警。這樣可以減少氣泡進(jìn)入到人體的損害。這些都是一些比較前沿的事情，也剛開始在做的過程中。
包括一些消費(fèi)電子類的，比如投影儀、投影機(jī)、電腦，他們里面都有風(fēng)扇，他們是用風(fēng)扇來散熱，如果風(fēng)扇一旦堵塞壞掉，很可能機(jī)器就會燒掉。但是如果我們能做這種大規(guī)模集成電路這種技術(shù)來做，就可能會克服。像現(xiàn)在芯片，隨著需求量的增加，成本會下降，所以現(xiàn)在用這種技術(shù)應(yīng)用到消費(fèi)電子類里面，可能就會很便宜，應(yīng)用起來也比較容易。我們公司也正在和世界領(lǐng)頭的公司在合作這方面的事情，我們未來也會對消費(fèi)類的電子方面做一些工作。
YBZHAN：那看來黃博士是相當(dāng)用心的一個人。我現(xiàn)在有一個問題，我們都知道矽翔是在美國硅谷注冊成立的一家公司，它相當(dāng)于以外企的身份進(jìn)入中國市場。我們知道外企進(jìn)入中國市場都要面臨一個公司產(chǎn)品本土化的挑戰(zhàn)，那矽翔是怎么去解決這個問題的呢？
黃博士：這個問題可能對我們來說是比較簡單。因?yàn)槲覀児局饕膭?chuàng)始人都是華人，有一些可能是從大陸出去的。像我本人在大陸也工作過一兩年的時間，對國內(nèi)的情況都比較了解，像本土化就會比較容易，不會像其他外企一樣，有一些文化上的差異。
YBZHAN：那矽翔公司是作為GB/T 20727-2006《熱式質(zhì)量流量計》起草單位之一，可見矽翔公司在流量計這一塊做得相當(dāng)?shù)某錾Ｄ墙衲甑亩鄧梗譃槲覀儙砹四男┬庐a(chǎn)品？
黃博士：我們今年主要是有幾個新的產(chǎn)品。比如像這樣的一種產(chǎn)品也是比較有意義的。這種產(chǎn)品的好處就是它也是用質(zhì)量流量計的方式來做，但是它的成本比較低，它可以應(yīng)用到很多不能使用精密計量的地方。我舉個例子，比如在醫(yī)院里面，我們吸氧都是按時間來收費(fèi)的，據(jù)說衛(wèi)生部他也在03年、05年的時候希望有一種方式能夠更精密的提供一種用氧的計量，病人真正用了多少氧就付多少錢，這種方法是比較合理的。很多省的人大、政協(xié)委員也在呼吁改變這種計量方式，化解醫(yī)患矛盾，讓病人出錢出得心甘情愿。
那我們的這個產(chǎn)品早是從301醫(yī)院開始，我們給他們裝科室計量的這種表，按片區(qū)來收費(fèi)，到現(xiàn)在按照病床來收費(fèi)。它希望比較便宜一點(diǎn)，計量很準(zhǔn)確。那過去機(jī)械式的計量，它就做不到這種程度。今年，我們就把這種產(chǎn)品開發(fā)出來，推向醫(yī)院一些比較需要精密計量又不能實(shí)現(xiàn)的地方。
那除了這些，還有一些需要精密計量但是過去又不能實(shí)現(xiàn)的地方，比如焊接，大家都知道以前焊接都是憑眼睛看。那焊接師傅如果經(jīng)驗(yàn)比較足眼睛比較好，就可以根據(jù)顏色來做焊接的處理。但是如果氣體控制得比較好，實(shí)際上不用經(jīng)驗(yàn)足的老師傅九可以達(dá)到這種程度。這種技術(shù)，在現(xiàn)在還是比較重要，比如在一些壓力、溫度領(lǐng)域，如果你焊接得比較好，及可能減少一些泄露、爆炸的事故。
所以這種技術(shù)的應(yīng)用場合時比較多的，我們是希望通過MEMS這種全電子式的技術(shù)，類似于大規(guī)模集成電路這種工藝把過去非常、價格非常昂貴的精密計量做得比較平民化，能給社會帶來更多的利益。特別是能對能源計量、工業(yè)控制更有效地減少一些浪費(fèi)。
YBZHAN：黃博士現(xiàn)在提到的是一個產(chǎn)品技術(shù)的情況。 我們都知道一個的產(chǎn)品它除了有一個的產(chǎn)品品質(zhì)、適合于市場，還需要一個良好的售后服務(wù)運(yùn)作。那矽翔像這一塊是怎么去做的？
黃博士：我們售后服務(wù)這一塊是相當(dāng)重要的。尤其是氣體流量這一塊，它涉及到不同場合的安裝。在公司剛成立的時候，我們公司就專門成立了售后服務(wù)部。隨著時間的推移，我們在北京、上海、廣州，包括我們在西北銀川我們成立了分公司，這樣做，希望在各個地方都能有就近的售后服務(wù)人員。他能很快的達(dá)到客戶服務(wù)現(xiàn)場，很快地為客戶解決問題。其實(shí)在同與客戶交談解決的過程中，我們也能拓展市場的應(yīng)用。
比如舉個例子，在照明這個市場里面，國際做燈泡的很的一家公司的國內(nèi)分公司在我們這里買了很大測量的產(chǎn)品，他們覺得這個產(chǎn)品很好，比過去方式有、很大的改進(jìn)。他就跟我們的售后服務(wù)人員討論，能不能做一些便宜一點(diǎn)、能大規(guī)模使用的，每個生產(chǎn)線充燈泡的地方可以用到。我們當(dāng)時覺得，他們給我們提供了一個很好的市場信息，所以我們很快地將這個信息轉(zhuǎn)達(dá)給我們的研發(fā)部，很快地做出這樣的產(chǎn)品，并且為他們定制出這樣的產(chǎn)品。他們的生產(chǎn)線就進(jìn)行了大規(guī)模的改造。對他來說，提高了生產(chǎn)效率，減低了他的浪費(fèi)，當(dāng)然我們也擴(kuò)展而來我們的市場。
所以，我覺得售后服務(wù)時特別重要的，尤其是在與客戶交流之間，會發(fā)現(xiàn)很多不同新的應(yīng)用。同時也能幫客戶解決很多新的困難，發(fā)現(xiàn)他們應(yīng)用中的一些問題，這些都是我們公司非常非常重視的地方。
YBZHAN：從黃博士的談話中，我們看到矽翔公司售后服務(wù)這一塊做得非常的好、也非常懂得從服務(wù)中吸取經(jīng)驗(yàn)。在服務(wù)客戶中發(fā)現(xiàn)問題、發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品新應(yīng)用來重新對產(chǎn)品進(jìn)行改造、設(shè)計定制，這是非常明智的做法。
我這里有一份報告指出，現(xiàn)在的流量計市場競爭相當(dāng)?shù)募ち遥壹卸缺容^高。百分之五十的市場它是又ABB、艾默生這些國際巨頭占領(lǐng)，那像矽翔公司有什么方法去突圍這一塊呢？
黃博士：我覺得這個在于一個技術(shù)的發(fā)展。熱式質(zhì)量流量計發(fā)展了有大概七十年的歷史。可以追溯到1964年，或者更早可以到1959年開始到現(xiàn)在也有幾十年的發(fā)展。像你剛才講到的一些大公司，他們都有一些專長的地方。他們其實(shí)做得產(chǎn)品蠻多的。但是想熱氏這一塊，ABB并不是做得全球大的公司。像熱氏做得大的公司也在今年的多國展參展，是美國FCI。那在歐洲，想ABB、E+H做熱氏這一塊也做了很多年，也做得不錯。
那我們也是發(fā)揮我們技術(shù)的長處，我們不可能所我們的一個產(chǎn)品跟他們所有現(xiàn)有的基礎(chǔ)競爭，但是我們可以取長補(bǔ)短。剛剛講到一些大公司，比如美國FCI，其實(shí)我們也在跟他們緊密的合作。他們也是能希望我們的一些小流量端（他們做不了的）進(jìn)行一些合作。而我們則希望在一些大流量、溫度壓力很高的地方進(jìn)行合作。那么我們從大家的互相合作、互相學(xué)習(xí)進(jìn)步。
我們有一個很好的長處就是我們有一個自己的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，我們能在美國很快的設(shè)計制造芯片，我們能從一個月的時間，完成設(shè)計到制造，甚至到初期的測試，這些都是我們的技術(shù)優(yōu)勢。我們希望我們不斷地改變我們的產(chǎn)品、不斷地擴(kuò)張產(chǎn)品的應(yīng)用程度。那么可能在傳統(tǒng)的領(lǐng)域會有更多的市場份額。但是我相信，市場份額的取得，也是在于應(yīng)用的擴(kuò)展，我想我們現(xiàn)在更加關(guān)注的過去傳統(tǒng)做不了的地方，或者傳統(tǒng)的技術(shù)都是機(jī)械式的技術(shù)，他們度不高，控制比較困難。在這些地方，我們希望能多做一些事情。而不是和一些數(shù)量比較少，要求比較高的地方去競爭。
從熱氏質(zhì)量流量計這個角度來講，也有這么多年的發(fā)展歷史，就全球來講，真正的哪一個公司真正的在熱氏質(zhì)量流量計的份額都比較小的，銷售量也很低的，也不是個獨(dú)占的行業(yè)。像ABB可能名聲響一點(diǎn)，是因?yàn)樗麄冇指鞣N各樣的產(chǎn)品能讓他們在這個行業(yè)里有一定的市場，但是他在熱氏質(zhì)量流量計里面占的市場份額就比較小。
從我們的角度來講，我們是希望能從各種新的應(yīng)用，比如在節(jié)約能源啊、精密控制方面能夠提供一些新的產(chǎn)品，在一些傳統(tǒng)技術(shù)現(xiàn)在無法實(shí)現(xiàn)的地方，我們能迅速的拓展市場。在一些非常非常傳統(tǒng)，現(xiàn)在產(chǎn)品用得比較好的地方，我們可能是慢慢地去做那方面的事。
YBZHAN：從黃博士的談話中我們可以得出矽翔是通過專注于自身技術(shù)優(yōu)勢的拓展市場空白點(diǎn)來搶占市場份額的。剛才黃博士提到了矽翔公司的一個研發(fā)隊(duì)伍，您能不能為我們談一下矽翔公司的人才戰(zhàn)略。
黃博士：從技術(shù)的源頭來講，這也是個很現(xiàn)實(shí)的問題，在美國硅谷，它必定是全球的一個技術(shù)集中地。這個主要可能取決它的科技政策導(dǎo)向，社會環(huán)境造成的。硅谷所聚集的科研人才就比較多。我們公司在硅谷的科研團(tuán)隊(duì)也在隨著公司的成長在不斷地擴(kuò)大。是希望把核心的部分放在硅谷，做研發(fā)。
那在國內(nèi)它有它自身的環(huán)境，它有非常好的應(yīng)用環(huán)境。那么我們在國內(nèi)的應(yīng)用研發(fā)的團(tuán)隊(duì)就會不斷地擴(kuò)大。現(xiàn)在大概有一個三十人的研發(fā)團(tuán)隊(duì)。今年，我們還會擴(kuò)大我們的團(tuán)隊(duì)，現(xiàn)在我們做得大部分是氣體，我們現(xiàn)在也在涉足液體，像我剛才提到的注射都是液體方面，我們會不斷地擴(kuò)大這一方面的人才。我們也在考慮建設(shè)一個更好的研發(fā)基地，亞洲的研發(fā)基地，這個基地主要是以中國為主，以中國的研發(fā)人員為主來開過各個應(yīng)用領(lǐng)域的市場研發(fā)。而核心的技術(shù)，我們會在美國做。利用兩岸的優(yōu)勢，來互補(bǔ)。
YBZHAN：那相當(dāng)與矽翔公司的研發(fā)實(shí)力是中西合璧。那矽翔在中國區(qū)以及整個亞洲地區(qū)還會有什么樣的新動作？
黃博士：我們今年的話，主要想做幾件事情：是我們希望跟國內(nèi)主要的燃?xì)夤拘纬梢环N戰(zhàn)略性的合作。這個已經(jīng)開始做，而且比較有成效，我相信在明年的上半年會完成。這種合作達(dá)成之后，我們這種全電子式的燃?xì)獗砑夹g(shù)逐步的在中國大陸市場推開。
第二就是我們可能會建立一個更強(qiáng)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，來涉足能源管理方面的一些事情。還有包括過去在工業(yè)精密控制方面，可能需要專門的一些團(tuán)隊(duì)來培養(yǎng)市場的需求。
YBZHAN：我們都知道中國的流量計企業(yè)和國外存在一定的差距。在采訪的后，黃博士作為資深的儀器儀表人，能不能為我們國內(nèi)的企業(yè)提幾點(diǎn)發(fā)展建議？
黃博士：國內(nèi)的企業(yè)主要以合資企業(yè)、民營企業(yè)、外資獨(dú)資企業(yè)等等這些形式存在。國內(nèi)的企業(yè)可能在技術(shù)的投入方面要差一點(diǎn)。這個呢，我覺得可能跟大環(huán)境有關(guān)系，可能也是一種不斷改進(jìn)的過程。而且流量計行業(yè)，我也是從過去不太懂這個行業(yè)到現(xiàn)在慢慢了解，這個行業(yè)是非常古老的行業(yè)。早是我們每家每戶的燃?xì)獗恚旧隙加?60年的歷史，現(xiàn)在還在用這樣的產(chǎn)品。
在國內(nèi)燃?xì)庑袠I(yè)，也沒有很多這種新的技術(shù)，我想這可能跟國外的一些技術(shù)接軌有問題，另外一個，國外它有一些技術(shù)的開發(fā)，當(dāng)然我們國家也有投入，比如原來的電子鎖方面，國家也投入了很多的資金，在建MEMS的生產(chǎn)線，在做這方面的一些研發(fā)。我覺得隨著時間的推進(jìn)，還是會逐步的發(fā)展。
當(dāng)然，我覺得還是大環(huán)境的影響，如果大環(huán)境有所改進(jìn)，國內(nèi)的進(jìn)步會更大一點(diǎn)。
YBZHAN：感謝黃博士接受我們中國儀表展覽網(wǎng)的采訪。祝矽翔越走越遠(yuǎn)。
后記：采訪黃博士的整個過程非常流暢順利，他淵博的知識與言語中的從容為我們在現(xiàn)場上了一堂生動的儀器儀表專業(yè)課。這堂課中，我們知道，儀器儀表行業(yè)是一個古老而深具魅力活力的行業(yè)；我們知道，儀器儀表行業(yè)是一個需要我們不斷去突破不斷去挖掘的行業(yè)；我們知道，作為儀器儀表行業(yè)的一份子，我們要做好吃苦實(shí)干的準(zhǔn)備。讓我們一起祝愿，在這個古老傳統(tǒng)的行業(yè)中，矽翔在黃博士的帶領(lǐng)下，能煥發(fā)出不一樣的魅力！
資料補(bǔ)充
黃立基博士簡介：
1988年畢業(yè)于清華大學(xué)材料專業(yè)，獲得博士學(xué)位。在國內(nèi)外相關(guān)文獻(xiàn)發(fā)表過上百篇論文，擁有多項(xiàng)專利技術(shù)；曾在美國西捷公司（Seagate）擔(dān)任過5年的部門經(jīng)理，具有豐富的新技術(shù)和新產(chǎn)品開發(fā)經(jīng)驗(yàn)。微功耗MEMS流量傳感芯片就是黃博士多年研究成果的結(jié)晶，并在美國已獲得7項(xiàng)相關(guān)專利。
黃立基博士是美國電氣電機(jī)工程學(xué)會（IEEE）資深會員；曾獲中國科學(xué)技術(shù)委員會自然科學(xué)二等獎，中國國家教委霍英東青年教師二等獎，美國材料研究學(xué)會研究生獎，北大西洋公約組織國際合作獎等。
MEMS簡介：
MEMS （Micro Electro Mechanical System） ，即微機(jī)電系統(tǒng)，是采用現(xiàn)代加工工藝和材料生長及合成技術(shù)制造的具有機(jī)械、電子及其他物理特性的微系統(tǒng)。大多數(shù)的微機(jī)電系統(tǒng)是借用了大規(guī)模集成電路的主要工藝構(gòu)筑在硅片上的。因而這一類的產(chǎn)品也稱之為“微機(jī)電系統(tǒng)芯片”。
微機(jī)電系統(tǒng)芯片可獲得某些宏觀機(jī)電器件所不能達(dá)到的功效。一個典型的微機(jī)電系統(tǒng)芯片包含有微傳感器、微調(diào)節(jié)器及智能電子控制線路。其傳感器能感應(yīng)環(huán)境的熱、機(jī)械、磁、光、化學(xué)或生物特性，通過微調(diào)節(jié)器及智能電子控制電路來完成器件所賦予的功能。本流量計采用了本公司生產(chǎn)的熱質(zhì)量氣體流量傳感器芯片，屬于質(zhì)量流量傳感方式的流量計，它通過氣體流動產(chǎn)生的熱場變化來測量氣體的流量。由于不同質(zhì)量的氣體對熱場變化具有不同的影響，因而，它所測量的流量為質(zhì)量流量。
不同于傳統(tǒng)的"熱絲"方式采用單一熱傳感器及熱源來測量氣體的熱損耗，并由此測量氣體的質(zhì)量流量（風(fēng)速式熱質(zhì)量流量原理），微機(jī)電系統(tǒng)芯片熱質(zhì)量流量傳感器采用了多個熱傳感器及一個微熱源（量式熱質(zhì)量流量原理），大大減少了環(huán)境對測量的影響。微機(jī)電系統(tǒng)芯片熱質(zhì)量流量器的熱源十分微小，采用插入式在相對大的流場中，在無氣體流動時，傳感器的熱源對環(huán)境無影響，不會像傳統(tǒng)的"熱絲"式質(zhì)量流量計那樣造成氣體的對流。因而，微機(jī)電系統(tǒng)芯片熱質(zhì)量流量傳感器具有優(yōu)良的零點(diǎn)穩(wěn)定性和極短的響應(yīng)時間。
公司簡介：
矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司（Siargo Ltd.）成立于2003年。公司總部位于美國加州硅谷。矽翔公司是目前世界上唯一生產(chǎn)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、低功耗、超大量程 MEMS流量芯片的廠商。其核心部件MEMS流量芯片及其專利封裝技術(shù)由公司自主研發(fā)，可用于各類氣體及微流體的流量計量和測控，為傳統(tǒng)流體計量帶來了根本的變革，提供了全新的拓展空間。
目前，矽翔公司專門為適用于中、小型企業(yè)和商業(yè)燃?xì)庥嬃块_發(fā)的流量計已經(jīng)在四川、重慶、湖北、湖南、東北、華東等地區(qū)使用。由于產(chǎn)品為全電子式，采用標(biāo)準(zhǔn)體積（質(zhì)量）計量，具有超大量程、高精度、無可動部件、強(qiáng)大數(shù)據(jù)存儲功能、壓力損失小、易于數(shù)據(jù)遠(yuǎn)傳和網(wǎng)絡(luò)化等特點(diǎn)，從根本上改變了傳統(tǒng)機(jī)械儀表的計量方式，在小流量計量能力上大大提高，使有效實(shí)施天然氣的能源管理。實(shí)時監(jiān)控和資源合理調(diào)配成為了可能。矽翔公司基于MEMS技術(shù)的流量芯片除在天然氣計量中的應(yīng)用外，還廣泛應(yīng)用于醫(yī)療麻醉與呼吸設(shè)備，工業(yè)制造業(yè)用氣測量及過程控制，環(huán)保等多個領(lǐng)域，在醫(yī)院中心供氧、制氧設(shè)備；分床計費(fèi)系統(tǒng)；在食品加工、科學(xué)氣體分析儀器、樓宇控制、民用健身等領(lǐng)域也有廣泛應(yīng)用；到今為止，產(chǎn)品已經(jīng)銷售到美國、歐洲、南美、亞洲等多個國家。
同時，矽翔公司是GB/T 20727-2006《熱式質(zhì)量流量計》起草單位之一。
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