微納米幾何量計量器具是指能直接或間接測出微米、納米尺度幾何量的裝置、儀器儀表、量具，包括計量基準，計量標準和工作計量器具。
隨著科技水平的不斷發展和產業結構升級，微納米幾何結構的準確計量已經成為制約國家重大領域關鍵部件研發、微納米產業貿易交接的重要前提。目前，我國在微納米幾何量計量方面尚未形成一套完整的、可覆蓋全量值范圍內溯源的體系，相關規程也屬空白。
由于測量原理不同，各類微納幾何結構測量儀器測量結果的一致性難以保障，而產業的飛速發展和大量計量檢測需求表明，目前迫切需要建立一套具有完整溯源連條、覆蓋多種測量原理的微納米幾何量計量器具作為基準，以滿足全國范圍內的微納米幾何量值溯源和傳遞需求。而經過多年積累和努力，中國計量科學研究院在基于各種原理的微納幾何量計量溯源方法、裝置、量值傳遞路線與知識技術等方面的積累日趨完善，其中多項計量能力通過了CMC的同行評審以及CNAS認證，在比對中也取得了較為滿意的比對結果，完全具備制定技術規范的能力，建立一套完整的微納米幾何量計量鏈條的時機已經逐漸成熟，特此提出本法規。
本溯源系統表的編寫依據JJF 1001-2011《通用計量術語及定義》、JJF1104-2003《國家計量溯源系統表編寫規則》、JJF1002-2011《國家計量溯源規程編寫規則》、JJF1071-2010《 國家計量校準規范編寫規則》和JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》中的要求編寫。
本計量法規主要從三個層級規定了微納米幾何量計量器具的溯源及量值傳遞體系，包括：1.描述微納米幾何量計量基準及相關內容；2.描述微納米幾何量計量標準器具及相關內容；3.描述微納米幾何量工作計量器具及其相關內容。
在此基礎上，制定微納米幾何量計量器具溯源系統框圖，明確量傳關系、涉及的參量、測量范圍及不確定度。
本溯源系統表規定了微納米幾何量計量基準器具、計量標準器具和工作計量器具的用途、組成和技術指標。同時規定了從計量基準器具到計量標準器具再向工作計量器具進行量值傳遞的程序。為本溯源系統適用于微納米幾何量計量器具的溯源, 在開展校準時也可作為量值溯源的依據。
本法規制定后，將滿足全國范圍內的微納米幾何量值溯源和傳遞需求，對于規范相關行業中微納米幾何量測量方法及量傳體系具有約束作用。本法規既可完善我微納米幾何量量傳體系，又可滿足相關行業的發展需求，對于提高我國產品質量，提高競爭力具有重要的意義。同時也將為全國范圍內其他計量院所帶來很好的社會和經濟效益。(詳情請見附件)
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