MEMS振動(dòng)傳感器可用于機(jī)械中的振動(dòng)和位移、轉(zhuǎn)子與機(jī)殼的熱膨脹量的長(zhǎng)期監(jiān)測(cè)；生產(chǎn)線的在線自動(dòng)檢測(cè)和自動(dòng)控制；科學(xué)研究中的多種微小距離和微小運(yùn)動(dòng)的測(cè)量等。MEMS振動(dòng)傳感器已廣泛應(yīng)用于能源、化工、醫(yī)學(xué)、汽車、冶金，機(jī)器制造，，科研教學(xué)等諸多領(lǐng)域。
 

　　MEMS振動(dòng)傳感器作為獲取信息的關(guān)鍵器件，對(duì)各種傳感裝置的微型化起著巨大的推動(dòng)作用。隨著MEMS技術(shù)的快速發(fā)展使得MEMS傳感器受到各發(fā)達(dá)國(guó)家的廣泛關(guān)注，紛紛將MEMS傳感器技術(shù)作為戰(zhàn)略性的研究領(lǐng)域之一，并制定相關(guān)的計(jì)劃并投入巨資進(jìn)行專項(xiàng)研究。
 

　　近期，國(guó)家光電子中心圓滿完成了清華大學(xué)科研成果——MEMS振動(dòng)傳感器樣品的檢測(cè)任務(wù)。
 

　　MEMS振動(dòng)傳感器既是國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(863計(jì)劃)制造裝備檢測(cè)用多功能微納傳感器專項(xiàng)的科研成果，也是針對(duì)武漢鍋爐股份有限公司關(guān)于在超高溫條件下監(jiān)測(cè)鍋爐內(nèi)振動(dòng)環(huán)境要求的研制成果。
 

　　科研成果驗(yàn)收是科研創(chuàng)新的關(guān)鍵所在，檢驗(yàn)檢測(cè)則是科研成果驗(yàn)收的主要手段。MEMS振動(dòng)傳感器屬于科研成果，在國(guó)內(nèi)還沒(méi)有相關(guān)的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。按照該項(xiàng)目驗(yàn)收要求，國(guó)家光電子中心與項(xiàng)目科研人員充分溝通交流，結(jié)合國(guó)家相似類別設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)提出檢測(cè)方案，并通過(guò)檢測(cè)結(jié)果表明該傳感器已達(dá)到設(shè)計(jì)目標(biāo)，凸顯了檢驗(yàn)檢測(cè)對(duì)科技創(chuàng)新的基礎(chǔ)支撐作用。
 

　　MEMS傳感器作為競(jìng)爭(zhēng)戰(zhàn)略的重要標(biāo)志性產(chǎn)業(yè)，以其技術(shù)含量高、市場(chǎng)前景廣闊等特點(diǎn)備受世界各國(guó)的關(guān)注。近十年來(lái)，中國(guó)MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)也正逐步完善，從研發(fā)、設(shè)計(jì)、代工、封測(cè)到應(yīng)用，完整產(chǎn)業(yè)鏈已基本形成，國(guó)家對(duì)MEMS傳感器行業(yè)也給予了的政策支持。
 

　　我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨了重大的機(jī)遇，特別是移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展，將對(duì)MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生深遠(yuǎn)的影響，并將催生大量新的產(chǎn)品、新的應(yīng)用，帶動(dòng)MEMS產(chǎn)品在日常生活及工業(yè)生產(chǎn)中的普及化。
 

　　(資料來(lái)源：傳感器專家網(wǎng)，電子發(fā)燒友網(wǎng)，湖北省質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局)