【儀表網 儀表研發】微納器件在半導體、生物科學等領域中的迅速發展促進了人們對微納結構的不斷探索和改進。測量作為衡量器件性能的重要手段，對微納結構的三維形貌檢測也變得日趨重要。
單個像素點時域調制度分布曲線和三維形貌重建結果
得益于微小的結構和敏感的量子效應，微納電子器件在信息感知、物質探測等方面具有先天的優勢。相比于傳統器件，其具有靈敏度高、能耗低、尺寸小、易集成的優點，具有非常廣闊的市場前景。
光電所科研人員提出一種基于白光顯微干涉術的形貌恢復算法：利用二維傅立葉變換獲取單幀干涉圖像頻域信息，提取基頻頻譜作逆傅里葉變換，后獲取條紋的時域調制度信息。通過壓電陶瓷縱向高精度掃描，獲取每個像素點的調制度分布，進而利用極值點得到單個像素點的高度信息，從而實現微納結構的三維形貌重建。該方法優勢在于能有效消除光源光強不穩定、外界環境干擾等不利因素帶來的誤差，較大程度上提升檢測精度和系統穩定性，未來有望應用于在線檢測。
該項目得到國家科學自然基金和光電所研究生創新基金支持。
(原標題：光電所發展出一種基于白光顯微干涉術時域調制度的微納結構三維形貌重建方法)
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