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摘要本土企業(yè)由于研發(fā)生產(chǎn)時(shí)間短,生產(chǎn)技術(shù)和工藝與國(guó)際領(lǐng)先水平還具有一定差距,能夠量產(chǎn)的低溫真空泵產(chǎn)品種類(lèi)較少,整體供給能力有限。

  【儀表網(wǎng) 產(chǎn)業(yè)報(bào)道】本土企業(yè)由于研發(fā)生產(chǎn)時(shí)間短,生產(chǎn)技術(shù)和工藝與國(guó)際領(lǐng)先水平還具有一定差距,能夠量產(chǎn)的低溫真空泵產(chǎn)品種類(lèi)較少,整體供給能力有限。

 
  低溫真空泵是一種利用20K以下低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵,又叫低溫泵、冷泵、冷凝泵,一般是以低溫液體(液氮或液氦)或低溫制冷機(jī)為冷源。低溫真空泵以其高效的抽氣能力和極低的極限壓力,為半導(dǎo)體、顯示面板制造、分子束研究、真空鍍膜、表面分析、離子注入以及空間模擬等高科技領(lǐng)域提供了理想的清潔真空環(huán)境。
 
  目前,我國(guó)低溫真空泵市場(chǎng)呈現(xiàn)外資品牌和本土品牌共同競(jìng)爭(zhēng)的格局:
 
 ?、偻赓Y企業(yè)代表性公司有日本愛(ài)發(fā)科、日本住友、CTI等,外資企業(yè)在項(xiàng)目規(guī)模和資金投入較大,其技術(shù)成熟度也達(dá)到了世界先進(jìn)水平,在低溫真空泵行業(yè)中處于競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)地位,其中,日本住友產(chǎn)品性能較高,其客戶集中于要求高的半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域;日本愛(ài)發(fā)科的客戶集中于顯示面板領(lǐng)域;CTI雖然技術(shù)實(shí)力及產(chǎn)品性能較強(qiáng),但作為美國(guó)企業(yè),其受到美國(guó)對(duì)華高技術(shù)領(lǐng)域制裁,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商基于供應(yīng)鏈安全考量,主動(dòng)推進(jìn)關(guān)鍵零部件的“去美化”,使得CTI幾乎放棄在華低溫真空泵業(yè)務(wù)。
 
  ②本土企業(yè)代表性企業(yè)有浙江博開(kāi)機(jī)電科技有限公司與安徽萬(wàn)瑞冷電科技有限公司、南京鵬力科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)等,其中,安徽萬(wàn)瑞冷電科技有限公司作為本土領(lǐng)先的低溫真空泵生產(chǎn)商,立足于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商需求,研發(fā)和生產(chǎn)高端產(chǎn)品,其產(chǎn)品批量供應(yīng)北方華創(chuàng),助力國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)鏈自主化;南京鵬力科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)作為中船旗下企業(yè),在制冷機(jī)方面具備優(yōu)勢(shì),為其低溫真空泵技術(shù)發(fā)展提供了技術(shù)支撐。
 
  整體而言,本土企業(yè)由于研發(fā)生產(chǎn)時(shí)間短,生產(chǎn)技術(shù)和工藝與國(guó)際領(lǐng)先水平還具有一定差距,能夠量產(chǎn)的低溫真空泵產(chǎn)品種類(lèi)較少,整體供給能力有限。據(jù)新思界發(fā)布的《2024-2029年中國(guó)低溫真空泵行業(yè)市場(chǎng)深度調(diào)研及發(fā)展前景預(yù)測(cè)報(bào)告》顯示,2023年,中國(guó)低溫真空泵產(chǎn)量不足2500臺(tái),遠(yuǎn)不能滿足國(guó)內(nèi)需求。
 
  新思界分析人士認(rèn)為,隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展,下游領(lǐng)域?qū)Φ蜏卣婵毡玫漠a(chǎn)品性能要求持續(xù)提升,尤其是產(chǎn)品的抽速、恢復(fù)時(shí)間、抽氣容量、再生周期、能耗等指標(biāo)。例如,隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展,下游用戶對(duì)氫氣和氬氣等氣體的抽氣速度和容量需求日益增長(zhǎng)。
 
  具備大抽速和大容量特性的低溫泵不僅能夠滿足半導(dǎo)體制造技術(shù)進(jìn)步的需求,還能有效延長(zhǎng)泵的再生周期,從而提升整體的生產(chǎn)效率。因而,國(guó)內(nèi)低溫真空泵企業(yè)可以通過(guò)改進(jìn)壓縮機(jī)、變頻技術(shù)等方式縮短降溫時(shí)間,并朝著集成度、智能化、網(wǎng)絡(luò)化更高的方向發(fā)展,通過(guò)優(yōu)化控制算法使其可滿足不同工況與應(yīng)用環(huán)境,進(jìn)一步提升技術(shù)及產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力。

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