超聲波掃描顯微鏡
超聲波掃描顯微鏡（Scanning Acoustic Microscope，簡稱C-SAM或SAT）是一種高度專業化的檢測設備，主要用于封測行業功率半導體器件IGBT、芯片以及各種材料內部結構的無損檢測與失效分析。這種顯微鏡利用超聲波技術，能夠在不破壞樣品的情況下，探測并成像樣品內部的微細結構和缺陷。
超聲波掃描顯微鏡（KSI SAT）
-KSI V300E功能特點-
• 掃描范圍適中：300mm*300mm
• 掃描速度快：2米/秒（加速度30米/平方秒）
• 重復精度高：+/-0.1微米
• 低噪防誤判探頭：有效去除水花產生的誤判
• X/Y/Z軸驅動系統：直線磁懸浮超高速電機
• 掃描模式：支持點掃描（A-）縱部掃描（B-）橫部掃描（C-）多層橫剖掃描（X-）等
• 主控軟件：Ksi Vision
• 配置選用：檢件臺定制、透射模組、三維圖像分析軟件、濾波器等可選
中型單探頭超聲波顯微鏡KSI V300E系列（300mm*300mm，+/-0.1um，2m/s）是一款大小合適多用途超掃檢測機，其工作原理是利用超聲波通過耦合介質（通常是水）傳輸到樣品中。同時聲學顯微鏡的評估單元根據超聲波信號的振幅、相位和經過時間進行分析，并從這些信息中創建圖像，從而發現元器件材料中的斷層、空洞、裂痕、分層等一系列影響產品性能的潛在缺陷。
KSI V300E的超聲波對其移動介質的變化和不均勻性反應非常敏感，單探頭的設計可以有效去除水波干擾，主動防震動系統能夠確保機器不受外界干擾，從而保證檢測結果的準確性。由此可見它非常適用于失效分析實驗，對制程中的材料質量、工藝控制以及芯片抽檢來說，是bi bu ke shao的一環。
IGBT超掃檢測機——Dophin系列
Scanning Acoustic Microscope—Dophin
-Dophin適用產品-
• 大功率IGBT模塊
• 電子元器件
• 塑封集成電路
• 電容銅基器件
• sic鑄錠和襯底
IGBT超掃檢測機——Dophin系列是在常規C-SAM基礎上升級的全自動檢測系統。可以自主完成送料、檢測、標識、分類、出料的一整套標準流程，包括DCB板、IGBT器件的空洞、氣泡、裂縫、分層等缺陷都能輕松檢出，可快速鎖定半導體器件失效原因，從而提高產品的質量和可靠性。
日揚科技是一家真空領域整合服務的供應商，幫助客戶解決真空難題。我們不僅提供真空閥門、腔體、配件的OEM/ODM服務，還提供粉塵尾氣處理（Htc Scrubber）、納米涂層材料（WEH®）、超聲波掃描顯微鏡（KSI SAT）以及推拉力檢測儀（XYZTEC）等產品。致力于做客戶真空系統解決方案的全面服務商。
