2022年05月，由成都太科光電技術有限責任公司牽頭聯合高校、研究院所共同研制的“φ800mm超大口徑平面數字激光干涉儀”產品順利通過國產成果鑒定。項目于2013年由國內某研究院立項開始關鍵技術攻關，于2018年由四川省國防科學技術工業辦公室立項開展產品化研制，于2018年12月研制完成國內產品，于2019年至2022年完成用戶試用與工程化提升。項目團隊經過9年艱苦攻關，實現了φ800mm超大口徑平面數字激光干涉儀產品化，完成了國產超大口徑大型精密光學測試儀器的自主可控，進口替代。

φ800mm超大口徑平面數字激光干涉儀產品

由士牽頭組成的成果鑒定委員會，在聽取項目團隊所做的工作報告、技術研究報告與現場考察基礎上，對項目成果給予了客觀的評價。

φ800mm超大口徑平面數字激光干涉儀成果鑒定現場

鑒定委員會一致認為：該項目產品實現了φ800mm超大口徑平面數字激光干涉儀國內套研發與應用。項目技術難度大，創新性強，關鍵技術自主可控，項目成果總體技術處于水平，其中基于大視場的共軸插入快速對準技術處于水平。

項目研制的國內φ800mm超大口徑平面數字激光干涉儀產品，在攻克多項核心技術的基礎上，實現了儀器整機精度達到國際同類水平，部分指標超過國際水平。儀器產品精度：標準TF鏡與標準RF鏡面形精度PV均優于52nm（λ/12），TF鏡與RF鏡不配修直接成腔的系統精度PV優于63nm（λ/10），系統中頻精度PSD1小于0.80nm，系統RMS重復性優于0.21nm（λ/3000）。

φ800mm超大口徑平面數字激光干涉儀產品系統精度

φ800mm超大口徑平面數字激光干涉儀產品系統重復性

項目在技術攻關與產品化研制過程中，還重點開展了關鍵核心單元技術的國產化研制，整機除大口徑光學材料外實現全部國產化，國產化率到達85%以上。尤其是研制出了件φ800mm超大口徑標準透射標準鏡（TF鏡）單元核心部件，實現標準TF鏡φ800mm全口徑面形精度PV優于42.2nm（λ/15）且中頻PSD1小于0.80nm。

φ800mm超大口徑標準透射鏡面形精度

φ800mm超大口徑平面數字激光干涉儀產品的研制成功標志著我國在超大口徑精密光學檢測領域又邁進了關鍵一步。太科人始終堅持科技創新、服務用戶、支撐國家高科技發展的信念，致力于攻堅克難打破國外，實現關鍵核心技術自主可控，為我國精密光電測試領域做出應有的貢獻！