等離子設備是如何工作的?
工作原理:
等離子凈化設備,利用特定電壓,使空氣中的微粒原子內的電子轉換成帶電的離子。即是正負離子
學術上對等離子體的分類方式有很多,按照溫度來區分,可以分為熱力學平衡態和非熱力學平衡態等離子等離子體。熱力平衡狀態的等離子體所處于的環境較高,因此也可以稱之為高溫等離子體,相應的非熱力學平衡狀態的等離子體也被稱為低溫等離子體。
等離子體是物質的一種存在狀態,通常物質以固態、液態、氣態三種狀態存在,但在一些特殊的情況下有第四種狀態存在,如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態中存在下列物質:處于高速運動狀態的電子;處于激活狀態的中性原子、分子、原子團(自由基);
離子化的原子、分子;未反應的分子、原子等,但物質在總體上仍保持電中性狀態。在真空腔體里,通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體,通過等離子體轟擊被清洗產品表面.以達到清洗目的. 一般來講,清洗/蝕刻意思是去除產生干擾的材料。
清洗效果的兩個實例是去除氧化物以提高釬焊質量和去除金屬、陶瓷、及塑料表面有機污染物以改善粘接性能,這是因為玻璃、陶瓷和塑料(如聚丙烯、PTFE等)基本上是沒有極性的,因此這些材料在進行粘合、油漆和涂覆之前要進行表面活化處理。
等離子體最初應用于硅片及混裝電路的清洗以提高鍵接引線和釬焊的可靠性。等離子表面清洗設備如:去除半導體表面的有機污染以保證良好的焊點連接、引線鍵合和金屬化,以及PCB、混裝電路 MCMS(多芯片組裝)混裝電路中來自鍵接表面由上一工序留下的有機污染,如殘余焊劑、多余的樹脂等。
等離子體技術中的特點就是等離子體具有一定的化學反應特性。可以以一種不同于其他物質的第四狀態存在,電子、正負離子、激發態原子、分子以及自由基等粒子等是組成等離子體的主要成分。在性能上表現為一種準中性非凝聚系統。
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