低溫等離子體設備表面處理的形式
等離子體可分為兩種:高溫和低溫等離子體。低溫等離子表面處理的電離率較低，電子溫度遠高于離子溫度，離子溫度甚至可與室溫相當。所以低溫等離子表面處理是非熱平衡等離子體，低溫等離子表面處理中存在著大量的、種類繁多的活性粒子，比通常的化學反映所產生的活性粒子種類更多、活性更強，更易于和所接觸的材料表面發生反映，因此它們被用來對材料表面進行改性處理。
等離子體指部分或*電離的氣體，且自由電子和離子所帶正、負電荷的總和*抵消，宏觀上呈現中性電。等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質，它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質存在的第四態。
一，表面刻蝕。這是等離子體表面處理技術常見的形式之一，在等離子體的作用之下，進行表面處理的時候，材料表面的化學鍵會發生斷裂，從而形成一些小分子產物，這些產物在抽氣過程中被抽走，這樣的話就會使得材料表面變得凹凸不同，使得粗糙度得到增加。
二，表面活化。同樣是在等離子體的作用下，難粘的塑料表面會出現部門活性院子以及不飽和鍵，它們跟活性粒子接觸之后會反應生產新的活性基團，這些帶有活性基團的材料由于受到氧的作用，使得其表面的活性基團消失，所以這種活性是具有一定的時效性的。
三，表面接枝。進行等離子體表面處理的時候，由于活性粒子對表面分子的作用，使得分子鏈斷裂從而產生更多的活性基團，接下來會發生表面交聯以及接枝等反應。
