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半導體塑封、粘片與焊接缺陷檢測用超聲掃描顯微鏡

2021年10月04日 08:39:01 來源:上海思為儀器制造有限公司

超聲掃描顯微鏡(以下簡稱“C-SAM設備”)是半導體封裝制造行業常用的質量檢測與失效分析儀器,對于檢測封裝制造過程中的多種常見缺陷具有*的效果。 

我們整理出了一些典型的缺陷形式和超聲檢測圖像,供大家參考。以下所有超聲檢測圖像均來自于上海思為儀器制造有限公司(以下簡稱"思為儀器”)的超聲掃描顯微鏡。

 
 
 

一、塑封分層、空洞缺陷的超聲檢測

塑料封裝與引線框架分層(脫粘)是封裝制造過程中常見的缺陷類型。該缺陷的存在,造成塑封無法有效保護芯片工作,水汽容易侵入,嚴重影響器件的壽命和可靠性。只有使用超聲檢測方法,才能有效檢查該缺陷是否存在。

圖1  TO-252封裝的塑封分層超聲掃描圖像

圖2 TO-220 注塑工藝異常造成的分層缺陷

圖3 塑封料內部的空洞缺陷

二、半導體裝片/粘片缺陷的超聲檢測

裝片/粘片工序是封裝制造過程的關鍵工序,裝片/粘片過程中存在的空洞會造成器件在使用過程中散熱能力不足,影響使用壽命和可靠性。使用超聲檢測方法,可以快速有效地識別裝片/粘片空洞缺陷。

圖4  分立器件芯片粘片空洞超聲掃描圖像

圖5  IGBT模組斷層掃描圖像

三、半導體焊接缺陷的超聲檢測

焊接過程會產生氣泡和空洞,會造成器件在使用過程中散熱能力不足,影響使用壽命和可靠性。使用超聲檢測方法,可以快速有效地識別焊接空洞缺陷。

圖6 分立器件熱沉焊接空洞超聲掃描圖像

圖7 晶閘管焊接缺陷超聲掃描圖像

綜上,造成上述缺陷的原因包括模具損壞、材料失配、設備異常等。因此,在各工藝環節中的合適位置加入超聲檢測環節,將有利于提高產品質量與可靠性。

四、思為儀器的 C-SAM設備

目前,行業內使用的超聲掃描顯微鏡,基本上被美、日、德品牌壟斷。思為儀器團隊和伍精密從2012年開始跟蹤的超聲掃描顯微鏡設備。在消化吸收進技術的基礎上,進行相關原理創新,建立了各模塊子系統供應鏈。根據國內市場的特點,逐步建立從低頻到高頻、從低速到高速、從微型到大型的健全產品系列。

 

近日,思為儀器團隊和伍精密成功研發出“YTS500超聲掃描顯微鏡”產品,具有掃描速度快、體積小、重量輕、操作便捷等特點,整機價格僅為進口產品的三分之一左右。該產品更加適合集成電路、分立器件產線需求,將超聲掃描顯微鏡從分析科學領域進一步推廣至制程管控檢測領域。

 

“舊時王謝堂前燕,飛入尋常百姓家”,思為儀器將持續致力于超聲掃描顯微鏡的普及化和國產化。


YTS500 一體式超聲掃描顯微鏡

ZMS400 桌面式超聲掃描顯微鏡

GSS300 高速型超聲掃描顯微鏡

 DXS200 大尺寸超聲掃描顯微鏡

YTS100 一體式超聲掃描顯微鏡

★思為儀器C-SAM設備的應用場景 ★

01

用于裝片的每批的*檢驗焊料空洞率

02

用于每隔一小時檢測裝片空洞率,確保工藝穩定

03

用于檢測塑封的每批*檢驗分層和空洞

04

用于塑封每隔一小時檢測分層和空洞,確保工藝穩定

05

采購的每批塑封料要檢測分層和空洞

06

用于顧客投訴時失效分析

07

用于合格率低時,進行分析

客戶裝機現場

:吳小姐

:1560667577 

地址:浙江省樂清市柳市鎮象陽工業區正順西路2號A棟4樓

思為儀器|超聲無損檢測專家

 
 
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