擴散硅壓力變送器的被測介質的兩種壓力通入高、低兩壓力室，低壓室壓力采用大氣壓或真空，作用在δ元件，即敏感元件的兩側隔離膜片上，通過 隔離片和元件內的填充液傳送到測量膜片兩側。
擴散硅壓力變送器由測量膜片與兩側絕緣片上的電極各組成一個電容器。 當兩側壓力不一致時，致使測量膜片產生位移，其位移量和壓力差成正比，故兩側電容量就不等，通過振蕩和解調環節，轉換成與壓力成正比的信號。每個月檢驗一次,主要是清除儀器內的灰塵，安裝時應使變送器的壓力敏感件軸向垂直于重力方向, 如果安裝條件限制,則應安裝固定后調整變送器零位到標準值。
使擴散硅壓力變送器的膜片產生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。它是建立在微米/納米基礎上，在單晶硅片上刻融制作惠斯登電橋組成的硅應變計，經500度以上高溫熔化玻璃，彈性體受壓變形后產生電信號，由帶微處理器的數字補償放大電路進行放大，經數字軟件進行全智能溫度補償，輸出標準信號。在標準凈化生產過程中，擴散硅壓力變送器的參數嚴格受控，避免了溫度、濕度及機械疲勞的影響，具有頻響高、工作溫度寬等特點，保證了傳感器在工業惡劣環境中使用的長期穩定性。
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