產品介紹
概要

搭載有世界上采用了冷卻檢測方式的流量傳感器
特征

通過采用數字回路，實現了高精度?高速響應。
可以進行微升以上的微小流量控制。
可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
超潔凈類型
規格

 
名稱
質量流量計
型號
LF-F20M-A
LF-F30M-A
LF-F40M-A
LF-F50M-A
LF-F60M-A
全標度流量(g/min)
0.02/0.05/0.1
0.2/0.5
1/2/5
10/20
50/100
檢測控制范圍
5? F.S.
對象液體種類 *1
可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
液體粘度 *2
zui大值. 0.1 Pa·s (100cp)
精度 *3
±1% F.S.
直線性 *3
±0.5% F.S.
重復性 *3
±0.5% F.S.
響應精度
3秒以內 (T98)
2秒以內 (T98)
使用環境溫度 *4
5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)
溫度影響 Span
±0.1%F.S./℃ zui大值±1%
工作差壓值值 *5
zui大值. 5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo 控制閥)
耐壓
10MPa (視為流量計)
壓力損失
zui大值. 500Pa
流量設定信號
模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數字式：RS485(F-Net通信協議)
流量輸出信號
模擬：0?5 VDC(zui小負荷電阻2kΩ) 數字式：RS485(F-Net通信協議)
驅動電源
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏規格
5×10-12Pa·m3/s (He)