從小規模的實驗室經濟角度出發，Rpo-6型號拋光機是用來研發CMP工藝流程、拋光晶片的替換選擇，它的高度靈活性可以對任何材料進行拋光。
?原位摩擦和拋光墊磨損測量
?可替換探頭達到6英寸晶片
?標準的工藝流程&消耗品的運載
Rpo-6型號拋光機
主要特點
技術
化學機械拋光（CMP）是用來對正在加工中的晶片或其他物料進行平坦化處理的過程，而拋光技術則是利用了物理和化學的協同作用對晶片進行的拋光，通過給儲存在拋光片里樣本的底座一個加載力而完成的，當包含了研磨劑和活性化學劑兩種成分的拋光液通過底部時，拋光墊和樣本開始計數旋轉。
原位摩擦
該儀器通過測量原位摩擦和磨損程度來研究基本的拋光技術，而磨擦的變化則可用來描述移除率的近似值。
原位墊片磨損
原位磨損率則可用來反應在拋光，調節等情況下墊片的狀態。
狀態
原位和非原位調節
晶片尺寸
易于替換的晶片夾具可在同一測試儀上進行拋光樣品的尺寸由1英寸至4英寸。
泵
獨立的可編程泵可提供泥漿，水以及其他的化工產品。
消耗品和相關咨詢
我們所提供的標準拋光材料里包含的不僅僅是儀器還有一系列的消耗品(拋光液，拋光墊等)，與此同時，我們高質量的科學家團隊也會為您提供有關工藝流程開發和優化的咨詢服務
Rpo-6型號拋光機
規格
人工晶片裝載
臺式CMP研發系統
?原位和非原位調節
?使用可編程泵的泥漿和水管
?高硬度和良好的力控制
?170mm的滾筒直徑
?6英寸的樣本
?原位摩擦和墊片磨損選項
?打印尺寸 w870x，d800x，h870mm
?應用程序—CMP，MEMS，消耗品測試
Rpo-6型號拋光機
應用
?拋光
?工藝開發 ?環境開發 ?拋光液開發
?拋光墊表征 ?粒子開發
