1、什么是硅諧振式傳感器?它是如何工作的?MPM4530 壓力變送器 應用領域 硅諧振式傳感器是日本橫河公司EJA智能變送器中的敏感元件。它是一種微型構件,體積小,功耗低,響應快,便于和信號處理部分集成。如圖中所示為硅諧振式傳感器中的核心部分——硅諧振梁結構。它是在一塊單晶硅芯片上,采用三維表面微機械加工技術,加工成形狀大小*相同的兩個H型諧振梁,一個在硅片的*,另一個在硅片的邊緣。當硅片受到壓力作用時,將產生應 變和應力,兩個諧振梁也伴隨膜片產生相應的應力。但由于它們在膜片上所處的位置不同,它們的應力是不一樣的,一個受壓,一個受拉,于是它們的諧振固有頻率也就發生變化。利用測量兩個諧振梁的頻率之差,即可得到被測介質的壓力或壓差。 硅諧振式傳感器中的硅梁、規膜片、空腔被封在微型真空中,使它既不能與充灌液接觸,又在振動時不受空氣阻力的影響,所以用它制成的儀表性能穩定。
2、在EJA智能變送器中,通過何種方法激勵硅諧振子的振動和拾取其信號? 在EJA智能變送器中,硅梁振動的激勵與信號的拾取是通過電磁的方式實現的。如圖所示,硅諧振梁處于*磁鐵提供的磁場中,通過激振線圈A的交變電流i 激發H型硅梁振動,并由拾振線圈B感應后送入自動增益放大器。放大器一方面輸出頻率,另一方面將交流電流信號反饋給激振線圈,形成一個正反饋閉環自激系統,從而維持硅梁連續等幅振動。
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