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  • 壓電物鏡聚焦平臺

PF系列 壓電物鏡聚焦平臺

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面議
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  • 型號PF系列
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時間2018-01-10
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區上海市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量160
  • 人氣值48818
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產地國產 加工定制 適用領域科研
Z向 PFC**-80U是采用壓電陶瓷驅動的納米級物鏡掃描臺,掃描臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,確保了掃描臺的運動精度。掃描臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。掃描臺為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。分立的螺紋適配器,可適配多種型號的物鏡。
壓電物鏡聚焦平臺 產品詳情

  技術數據

產品型號

PFV**-80U(小負載型)

PFV**-80U-S(小負載型)

公差

運動自由度

Z

Z

-

傳感器類型

-

Strain Gage

-

標稱行程范圍(@0~+120V)

80 μm

80 μm

±20%

zui大行程范圍(@-20~+150V)

100 μm

100 μm

±20%

分辨率

2.5 nm

5 nm

typ.

重復定位精度

-

0.05% F.S.

typ.

線性度

-

0.1% F.S.

typ.

承載能力

2 N

2 N

Max.

剛度

1.3 N/μm

1.3 N/μm

±20%

諧振頻率

0g

330 Hz

330 Hz

±20%

靜電容量

3.4 μF

3.4 μF

±20%

工作溫度范圍

-10~+70 ℃

-10~+70 ℃

-

驅動電壓范圍(*)1

0~+120 V

0~+120 V

typ.

線纜長度

1.5 m

1.5 m

±10mm

外形尺寸(LxH)

48×40×16.5 mm(不含適配器)

48×40×19 mm(不含適配器)

-

重量

150 g

150 g

±5%

本體材質2

鋼(W)

鋼(W)

-

說明:

1.zui大驅動電壓可在-20V~+150V使用;*使用建議在0~120V驅動電壓下可延長使用壽命。

2.表面處理:白色(W)/黑色(B)。

 外形尺寸

關鍵詞:傳感器
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