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智能傳感器(Smart Sensor)、智能執行器和智能變送器-微傳感器(或微執行器,或微變送器)和它的部分或全部處理器件、處理電路集成在一個芯片上的器件(例如上述的微加速度計的單芯片解決方案)。因此智能傳感器具有一定的仿生能力,如模糊邏輯運算、主動鑒別環境,自動調整和補償適應環境的能力,自診斷、 自維護等。顯然,出于規模生產和降低生產成本的要求,智能傳感器的設計思想、材料選擇和生產工藝必須要盡可能地和集成電路的標準硅平面工藝*。可以在正常工藝流程的投片前,或流程中,或工藝完成后增加一些特殊需要的工序,但也不應太多。
在一個封裝中,把一只微機械壓力傳感器與模擬用戶接口、8位模-數轉換器(SAR)、微處理器(摩托羅拉69HC08)、存儲器和串行接口 (SPI)等集成在一個芯片上。其前端的硅壓力傳感器是采用體硅微細加工技術制作的。制備硅壓力傳感器的工序既可安排在集成 CMOS 電路工藝流程之前,亦可在后。這種智能壓力傳感器的技術和市場都已成熟,已廣泛用于汽車(機動車)所需的各式各樣的壓力測量和控制單元中,諸如各種氣壓計、噴嘴前集流腔壓力、廢氣排氣管、燃油、輪胎、液壓傳動裝置等。智能壓力傳感器的應用很廣,不局限于汽車工業。目前,生產智能壓力傳感器的廠商已不少,市售商品的品種也很多,已經出現激烈的競爭。結果是智能壓力傳感器體積越來越小,隨之控制單元所需的外圍接插件和分立元件越來越少,但功能和性能卻越來越強,而且生產成本降低很快。
順便需要說說的是,在一些中文資料中,尤其是一些產品宣傳性材料中,籠統地將Smart Sensor(或device)和Inligent sensor(或device)都稱之為智能傳感器,但在歐美文獻中是有所差別的。西方專家和公眾通常認為, Smart(智能型)傳感器比Inligent(知識型)的智慧層次和能力更高。當然,知識型的內涵也在不斷進化,但那些只能簡單響應環境變化,作一些相應補償、調整工作狀態的,特別是不需要集成處理器的器件,其知識等級太低,一般不應歸入智能器件范疇。
相信大多數讀者能經常接觸到的,zui貼近生活的智能傳感器可能要算是用于攝像頭、數碼相機、攝像機、手機攝像中的CCD圖像傳感器了。這是一種非智能型傳感器莫屬的情況,因為CCD 陣列中每個硅單元由光轉換成的電信號極弱,必須直接和及時移位寄存、并處理轉換成標準的圖像格式信號。還有更復雜一些的,在中、高檔長焦距(IOX)光學放大數碼相機和攝像機上裝備的電子和光學防抖系統,特別是產品中的真正光學防抖系統。它的核心是雙軸向或3軸向的微加速度計或微陀螺儀,通過它監測機身的抖動,并換算成鏡頭的各軸向位移量,進而驅動鏡頭中可變角度透鏡的移動,使光學系統的折射光路保持穩定。
13 、TSGC稱重傳感器,適用于吊鉤秤。型號:TSGC-500kg。
14 、TS稱重傳感器,適用于拉式測力裝置、機械設備計量。型號:TS-30kg,TS-50kg,TS-100kg,TS-500kg,TS-1000kg,TS-1.5t。
15 、XZF-SS稱重傳感器,適用于軌道衡識別器、塞入式軌道衡。型號:XZF-SS-200kN。
16 、HND-SS稱重傳感器,適用于拉式測力裝置、工業在線測力。型號:HND-SS-3kb。
17 、HNDC-SS稱重傳感器, 適用于各種軸向測力場合。型號:HNDC-SS-30klb,HNDC-SS-60klb,HNDC-SS-100klb。
18 、DCB稱重傳感器,適用于拉式測力裝置。型號:DCB-40t。
19 、NB稱重傳感器,適用于吊鉤秤、拉式測力裝置。型號:NB-2t,NB-3t,NB-5t,NB-10t,NB-15t,NB-20t,NB-30t。
20 、DF稱重傳感器,適用于吊鉤秤。型號:DF-3t,DF-5t。
21 、DFF稱重傳感器,適用于吊鉤秤。型號:DFF-10t。
22、 DFFB稱重傳感器,適用于吊鉤秤。型號:DFFB-3t,DFFB-5t,DFFB-7.5t。
23 、BHS稱重傳感器,適用于吊鉤秤、料斗秤、包裝秤、過載限位。型號:BHS-5t,BHS-10t,BHS-15t,BHS-20t,BHS-30t,BHS-50t,BHS-100t,BHS-150t。
24 、BHSP-A稱重傳感器,適用于拉式測力裝置。型號:BHSP-A-1.5t。
25 、SCG稱重傳感器,適用于電氣設備控制系統。型號:SCG-350kg,SCG-700kg,SCG-850kg,SCG-1300kg。
26 、SCK稱重傳感器,適用于皮帶秤、試驗機、各種壓式測力場合。型號:SCK-15kg,SCK-30kg,SCK-45kg,SCK-60kg,SCK-100kg,SCK-150kg。
27 、GZB稱重傳感器,適用于公路運輸超重檢測。型號:GZB-10t(即單軸20t)。
28 、GZE稱重傳感器。
29 、PB稱重傳感器,適用于吊鉤秤。型號:PB-3.75kg,PB-7.5kg,PB-15kg,PB-37.5kg,PB-75kg,PB-150kg,PB-375kg。