氣體傳輸:2-8種氣體 , Swagelok卡套連接
氣體類型:30種
進氣壓力:0.1-0.4MPA
控制閥動作型式:常閉式
響應時間(sec):1S
工作壓差:0.05~0.5MPA
zui大耐壓:3MPA
控制原理:質量流量控制,每個出口單獨控制
流量:50SCCM,100SCCM,500SCCM可定做
采用溫度變化對應于質量流量的原理,可以對不同的氣體進行流量量測及控制,并且不會受到溫度及壓力變化的影響
其他流速可選擇 ,其他氣體可選擇
準確性: 優于1%
數據:輸出的數據轉換為標準狀態下的質量( 1個大氣壓,0度)
標準狀態規定為:
標準溫度………………0℃(273.15K)
標準壓強………………101325Pa
控制顯示方式:電腦操作
精確控制兩種不同氣體流量大小,使用其按不同比例(量)均勻混合,并精確控制混合氣體流量大小。
可通過電腦軟件控制及采集流量信號