Pfeiffer 分子泵在LOW-E（低輻射玻璃）生產線中的應用

LOW-E全名Low emissivity，是低輻射鍍膜玻璃。相對熱反射玻璃而言是一種新型節能玻璃。目前上普遍采用真空磁控濺射鍍膜技術（離線法）生產Low-E玻璃。伯東公司銷售的德國普發 Pfeiffer 分子泵成功應用于此。

原理：玻璃垂直放置在架子上，送入10-1帕數量級的真空環境中，通入適量的工藝氣體（惰性氣體Ar或反應氣體O2、N2），并保持真空度穩定。將靶材Ag、Si等嵌入陰極，并在與陰極垂直的水準方向置入磁場從而構成磁控靶。以磁控靶為陰極，加上直流或交流電源，在高電壓的作用下，工藝氣體發生電離，形成等離子體。其中，電子在電場和磁場的共同作用下，進行高速螺旋運動，碰撞氣體分子，產生更多的正離子和電子；正離子在電場的作用下，達到一定的能量后撞擊陰極靶材，被濺射出的靶材沉積在玻璃基片上形成薄膜。為了形成均勻*的膜層，陰極靶靠近玻璃表面來回移動。為了取得多層膜，必須使用多個陰極，每一個陰極均是在玻璃表面來回移動，形成一定的膜厚。

德國普發 PFEIFFER 憑藉其120多年的真空制造經驗和范圍內的售后服務和技術支援贏得LOW-E市場客戶的青睞，德國馮.阿登納（VON ARDENNE）是zui典型的客戶。PFEIFFER 分子泵的LOW-E生產線使用在信義玻璃，南玻等中國玻璃制造*。

Pfeiffer 分子泵優點：

Ø  多抽速供客戶選擇，抽速為1,000至2,000L/S

Ø  對于H2,He和Ar,CF4有高的抽速

Ø  安裝位置從0到90度，90到180度

Ø  高的氣體流通量，即使是Ar,CF4

Ø  集成的TC 1200驅動單元可直接連接電源

Ø  抗腐蝕能力供選擇

Ø  豐富的介面介面：RS-485以及遠端控制；profibus或者Devicenet可供選擇

Ø  擁有IP 54和Semi S2 等級

Ø  穩定安全的轉子軸承系統

Ø  符合UL,CSA以及TUV認證

Ø  簡單的安裝

伯東公司作為優秀的德國PFEIFFER真空設備中國供應商。深圳，上海設有德國PFEIFFER同步的服務中心，提供完善的售前，售后服務。

伯東公司 主要經營產品 德國 Pfeiffer 渦輪分子泵, 干式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應用于各種條件下的 真空測量（真空計, 真空規管）; 氦質譜檢漏儀；質譜分析儀；真空系統以及美國 Brooks CTI Cryo pump 冷凝泵/低溫泵, HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機和美國KRI 離子源.Gamma離子泵等。

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