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公司介紹主營產品

上海萬庫真空設備有限公司成立于2008年，是真空行業的新生力量，高標準的客戶服務及準確的市場定位幫助公司高速發展，贏得了大量客戶單位的信任與贊譽。公司集真空獲得設備技術咨詢、*、售后維修、系統設計改造于一體的技術型公司，萬庫真空力爭打造中國*家專屬于真空供應的MRO供應商，簡單、精準、便捷的為客戶服務。

上海萬庫真空設備有限公司以專心、專注、專業的經營理念致力于為客戶提供*化的真空解決方案，在真空獲得設備、真空測量、真空撿漏、真空系統等領域提供一站式采購服務。

上海萬庫真空設備有限公司立足于上海，協同真空領域品牌為潔凈真空環境需求客戶提供高性價比的真空產品，代理銷售的品牌有美國瓦里安Varian、日本愛發科Ulvac、英國愛德華Edwards、德國普發Pfeiffer、德國萊寶Leybold，產品覆蓋航天航空、科研、化工、光學、制冷、電光源、半導體、太陽能電池、核工業、電力、制藥等行業，在空間模擬、電鏡、真空鍍膜、冷凍干燥、真空浸漬、真空熱處理、真空蒸餾、真空吸附、液晶注入、電子束焊等工業有典型應用。

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產品簡介在線詢價

EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠

EdWARDS羅茨泵 EH500 產品詳情

應用

半導體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO₂ 激光

功能和優勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m³h^-1/1776 ft³min^-1 的高抽速的應用場合。
它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。
EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：
- 安靜的無振動運行。
- 牢靠且防腐蝕。
- *的軸封技術，處理艙中不會出現油污染
防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到zui低。
軸封的設計經過優化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要zui高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點正是*技術設備的制造商所需要的。

技術數據

型號	EH250	EH500	EH1200	EH2600	EH4200
排量（工作容積）	310 m³h^-1 / 185 ft³min^-1	505 m³h^-1 / 300 ft³min^-1	1195 m³h^-1 / 715 ft³min^-1	2590 m³h^-1 / 1525 ft³min^-1	4140 m³h^-1 / 2440 ft³min^-1
使用前級泵時的有效抽速	240 m³h^-1 / 141 ft³min^-1	350 m³h^-1 / 206 ft³min^-1	840 m³h^-1 / 495 ft³min^-1	1750 m³h^-1 / 1031 ft³min^-1	3100 m³h^-1 / 1825 ft³min^-1
泵的壓力差	0-180 mbar/0-140 Torr	0-110 mbar/0-83 Torr	0-90 mbar/0-68 Torr	0-80 mbar/0-60 Torr	0-60 mbar / 0-45 Torr
進氣口連接	ISO63	ISO100	ISO160	ISO160	ISO250
出口連接	ISO40	ISO63	ISO100	ISO100	ISO100
轉速	0-2900 rpm	0-2900 rpm	0-2900 rpm	0-2900 rpm	0-2900 rpm
連續進氣口工作壓力	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr
zui大出口壓力	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr
*的前級泵	GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80	GV80，E2M80	GV160、GV250、 E2M80、E2M175	GV250、GV400、 E2M175、E2M275	GV400、E2M275
電機功率
碳氫化合物	2.2 kW / 3 hp	2.2 kW/3 hp	3 kW/4 hp	11 kW/15 hp	11 kW/15 hp
PFPE	1.5 kW / 2 hp	1.5 kW/2 hp	3 kW/4 hp	7.5 kW/10 hp	11 kW/15 hp
ATEX	2.2 kW	2.2 kW	3 kW	11 kW	11 kW
防爆	3 hp	3 hp	4 hp	15 hp	15 hp
環境溫度范圍
工作	5 至 40°C/40 至 104°F	5 至 40°C/40 至 104°F	5 至 40°C/40 至 104°F	5 至 40°C/40 至 104°F	5 至 40°C/40 至 104°F
存儲	-10 至 80°C/14 至 176°F	-10 至 80°C/14 至 176°F	-10 至 80°C/14 至 176°F	-10 至 80°C/14 至 176°F	-10 至 80°C/14 至 176°F
zui大工作濕度	90% RH	90% RH	90% RH	90% RH	90% RH
*用油	Ultragrade 20	Ultragrade 20	Ultragrade 20	Ultragrade 20	Ultragrade 20
油容量
齒輪箱			1.25 l/1.3 qt	3.5 l/3.3 qt	3.5 l/3.3 qt
聯軸器蓋	1.5 l/1.6 qt	1.5 l/1.6 qt	1.5 l/1.6 qt	6.5 l/7 qt	6.5 l/7 qt
軸封儲油器	0.125 l/0.25 qt	0.125 l/0.25 qt	0.125 l/0.25 qt	1.5 l/1.4 qt	1.5 l/1.4 qt
重量	61 kg/134 lb	74 kg/163 lb	74 kg/163 lb	308 kg/679 lb	400 kg / 882 lb

關鍵詞：標準

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