機構(gòu)?方式 | 多孔質(zhì)靜圧空気軸受?テーブル回転式 |
回転精度 | (0.02+0.0003H)μm H:テーブル面上からの高さ(mm) |
zui大測定徑 | 內(nèi)外徑共 φ450mm |
積載質(zhì)量 | 30kg |
上下移動量 | 400mm(bスタイラスアーム使用時) |