一、工作用壓縮式真空計概述:
工作用壓縮真空計(簡稱座式真空計)是直接測量系統內真空度的儀器,它對真空度的測量是測量,測量適用于低真空和高真空區域,測量的精度很高,可用作(1-10-3)Pa真空測量標準,其刻度表牌一般以單張定制印刷或畫稿的形式出現,該種真空計一般在真空泵制造廠和科研單位的用量較多。
二、結構和工作原理:
座式真空計的基本結構有規管和儲汞瓶兩大部分(轉動式和直立式麥氏真空表則合為一體)組成。座式真空計是利用提升水銀面的辦法來壓縮已定量的氣體的,當水銀不斷的上升時,水銀達到或超過三叉口時,壓縮球泡及測量毛細管(閉管)內的氣體才真正被壓縮,在低真空狀態下,水銀的高度差會拉得較大,而到了高真空狀態時,水銀的高度差也隨之縮小,此時,也就意味著系統內殘余氣體分子越來越少,倘若在機械真空泵與座式真空計之間安裝上一臺高真空擴散泵(有玻璃和金屬兩種,介質為擴散泵油),那么該系統的真空度將比平時獲得了更高更快。
三、技術指標:
1、采用平方定標法:其測量范圍從(5×10-3-3)Pa,精確誤差為±20%
2、采用直線定標法:其測量范圍從 (5×10-3-3-1000)Pa,精確誤差為±20%
四、使用說明:
1、將座式真空計安裝在的定位架上,底部的標準口塞之間必須用真空臘密封,儲汞器上三通活塞必須用高真空油脂進行密封,一般采用熔點較高些的。
2、用兩臺真空泵,一臺泵的抽氣口與座式真空計的儲汞瓶上的三通活塞的抽氣管相連接(中間請用軟性的真空排氣管)另一臺泵是要被測量真空度極限的真空泵或將需測真空度的真空系統,在吸氣口前安裝上一個高真空閥門(用¢10MM的玻璃活塞也可)接口上用真空排氣管連接到座式真空計的上端抽氣口上,排氣管與座式真空計抽氣管相接時小心謹慎(可適當涂上些真空泵油或真空油脂)排氣口的內徑與座式真空計抽氣口的外徑配比略大2-4MM。
3、啟動兩臺真空泵,再同時緩慢開啟兩個抽氣活塞,此時會看到儲汞瓶中的殘余氣體會迅速蒸發,當抽至10-15分鐘后,可將儲汞器上的三通活塞手柄反向旋轉,要求相當的緩慢,讓水銀緩慢提升,當開口的毛細管內的汞柱高度升至與閉口毛細管內頂端相平行時,關閉三通,看水銀在閉管內的高度所對應的真空度,觀后應及時將三通活塞緩慢轉向抽氣方向,要求下降水銀的速度同樣的緩慢,一般以三次測出的數據為準,測量完畢,先關閉兩個活塞,再停機,然后讓大氣注入到真空泵內。
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