產品名稱 氣體流量傳感器
產品型號 M9/4008
產品特點
?靈敏度高，有極小的始動流量；
?傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補
償，保證了流量計的高精度計量；
?在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比
達到了100:1甚至更高；
?各種連接方式，易于安裝與使用；
?輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或
由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出
線性的模擬電壓；
?LED顯示瞬時流量和累積流量，允許現場用鍵盤配
置流量計參數；
?可記錄
產品名稱 氣體流量傳感器
產品型號 M9/4008
產品特點
Ÿ靈敏度高，有極小的始動流量；
Ÿ傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補
償，保證了流量計的高精度計量；
Ÿ在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比
達到了100:1甚至更高；
Ÿ各種連接方式，易于安裝與使用；
Ÿ輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或
由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出
線性的模擬電壓；
ŸLED顯示瞬時流量和累積流量，允許現場用鍵盤配
置流量計參數；
Ÿ可記錄自上電以來瞬時流量的zui大值和zui小值，具
有超量程指示功能；
Ÿ零點穩定度高；
Ÿ全量程高穩定性、高精確度和優良的重復性；
Ÿ低功耗、低壓損；
Ÿ響應速度快。
產品簡介
M9/4008系列氣體質量流量計是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系
列流量計均采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清
潔、干燥氣體。*的封裝技術使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安
裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計并配以多種信號輸出，通過通
訊接口可實現對流量計的靈活配置與參數查詢。M9/4008具備LED數字顯示和按鍵功能，允許用
戶在現場調整或查詢流量計的參數。
產品應用
Ÿ環境監測
Ÿ電纜充氣機
Ÿ*
Ÿ*
Ÿ設備通風檢測裝置
Ÿ其他工業應用
性能指標
部件描述
M9/4008
性能參數M9/4008 單位
通徑： 8 mm
zui大流量： 10,20,30,40,50 SLPM
量程比：100：1
精度%： ±（1.5+0.2FS）
重復性%： 0.75
零點輸出漂移mV：±30
輸出漂移% / ℃：0.16
響應時間ms：100（默認，50，100，200，500，1000可設置）
工作電源：8～18Vdc，100mA
輸出方式：RS232, RS485, 模擬電壓0.5~4.5Vdc
顯示方式：4位7段LED數碼管顯示，2個指示燈
指示單位：瞬時流量：SLPM；累積流量：SL
顯示分辨率SLPM： 0.01，0.1可設置
zui大流量壓損： 600 Pa
zui大工作壓力MPa：1.0
工作溫度℃：-10～+55
儲存溫度℃：-20～+65
工作濕度%RH：<95
機械接口：R 1/4, NPT 1/4, 4mm/6mm/8mm快速接頭
鍵盤：三個按鍵
引出線：5針插頭，配0.5m電纜
標準校準氣體空氣（或其他氣體），20℃，101.325kPa
重量g：57
www.midwest-g.com
工作原理
M9/4008系列小流量氣體質量流量計是基于矽翔微機電系統有限公司自主研制的MEMS流量
傳感芯片，其原理是利用流動氣體傳熱傳質的依存關系，在其上、下游產生溫度變化而得到氣
體的質量流量。
該流量計同時實現熱源的產生與溫度的測量。當芯片處于工作狀態時，在傳感器的周邊形成
穩定的溫度場分布。一旦一定質量的氣體流過傳感器時，氣體的流動將破壞該溫度場的分布，
形成特定的、取決于該氣體的質量和速度的溫度場分布。微機電系統流量計芯片上的傳感器將
測量這一變化并把這一變化轉換為電信號，由一個專門的電路變送器對此信號進行放大、調理
并作線性化處理。由于不同質量的氣體對傳感器的周邊形成穩定的溫度場分布所產生的擾動不
同，因而能測量氣體的質量流量或總流量。
安裝使用
請按以下順序安裝和使用流量計：
1）打開產品包裝盒，包裝盒內應包含下列物品：
a）M9/4008質量流量計一只；
b）帶接頭連接電纜一根；
c）說明書一份；
d）合格證一份;
2）確認產品無任何機械損壞;
3）將產品的引線按照所給定義正確連接到使用裝置上;
4）確認連接正確后，接通電源;
5）接通電源預熱15分鐘后測量的參數值精度會更高。
RS232通訊方式
操作模式:
1.通過RS232流量計發0x9d,并取得流量計的返回信號0x9d;
2.通過RS232流量計發0x54,并取得流量計的返回信號0x54;
發送的兩個字節時間間隔必須超過5ms。流量計將進入操作模式，每隔設定的響應時
間從RS232輸出一組數據，數據格式如下：
V=vvvvnF=ffffffffnA=aaaaaaaan; n
V=vvvv 電壓內碼;
F=ffffffff 流量;相當于fffff.fff SLPM
A=aaaaaaaa 代表總流量，相當于aaaaaaa.aaa SL。
用戶模式:
1.通過RS232流量計發0x9d,并取得流量計的返回信號0x9d;
2.通過RS232流量計發0x00,并取得流量計的返回信號0x00;
發送的兩個字節時間間隔必須超過5ms。流量計將進入用戶模式，RS232輸出停止
數據輸出。
流量連續輸出模式:
1.通過RS232流量計發0x9d,并取得流量計的返回信號0x9d;
2.通過RS232流量計發0x56,并取得流量計的返回信號0x56;
發送的兩個字節時間間隔必須超過5ms。流量計將進入連續輸出模式，每隔設定的響
應時間從RS232輸出一組數據，數據格式如下：
F=ffffffffn; n
其中 F=ffffffff含義同上。
查詢瞬時流量模式:
1.通過RS232流量計發0x9d,并取得流量計的返回信號0x9d;
2.通過RS232流量計發0x55,并取得流量計的返回信號0x55;
發送的兩個字節時間間隔必須超過5ms。流量計將返回一個瞬時流量值，格式為
"ffffffff”, 代表順時流量fffff.fffSLPM。
數據流定義
a）波特率：38400 bps；
b）數據位：8位；
c）停止位：1位；
d）校驗位：無；
e）流控制：無。
