應(yīng)用領(lǐng)域
光譜共焦測厚儀，中文應(yīng)用范圍:3C、半導體、汽車、新能源等領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點
1. 適應(yīng)性強；
2. 精度高；
3. 穩(wěn)定性強；
4. 感光度高。
產(chǎn)品參數(shù)
| 測量頭 | ||
| 序號 | 項目 | 參數(shù) |
| 1 | 型號 | CDS-2001.5 |
| 2 | 工作距離 | 20mm |
| 3 | 測量范圍 | ±0.75mm |
| 4 | 線性度 | ±0.6μm（校準后滿量程測量時誤差值） |
| 5 | 分辨率 | 0.05μm（測量中心零點平均10噪聲大小程度） |
| 6 | 光斑大小 | 35μm（量程中心位置理論光斑直徑） |
| 7 | 重復精度 | 0.6μm（重復取放樣品50次） |
| 8 | 尺寸 | Φ20*69mm |
| 控制器 | ||
| 序號 | 項目 | 參數(shù) |
| 1 | 型號 | CDS-5508 |
| 2 | PC接口 | USB |
| 3 | 通訊接口 | 串口 |
| 4 | 額定電壓 | DC24V |
| 5 | 額定電流 | 1A |
