應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體封裝、3C 電子、線(xiàn)路板行業(yè)、生物醫(yī)療、新能源、國(guó)防航空。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1. AL6061 材質(zhì)真空腔體：級(jí)別密封，避免氣體泄露，實(shí)現(xiàn)高效的真空度，為等離子體創(chuàng)造的反應(yīng)條件;
2. 采用高質(zhì)量等離子射頻電源：13.56Mhz,確保高能量，高密度，均勻等離子體產(chǎn)生，確保出眾的表面處理效果;
3. 真空系統(tǒng)： 雙級(jí)旋片真空泵，真空專(zhuān)用電磁角閥、充氣閥、KF40 不銹鋼真空波紋管；耐高溫、抗氧化、無(wú)排放污染，泵具有可自行緩解溫度過(guò)高的散熱體系，無(wú)需水冷;
4. 高精度氣體流量監(jiān)測(cè)系統(tǒng)：三路工藝氣體配置(氬氣、氧氣、氮?dú)猓p路氣流控制，比例可調(diào)，采用高精度電子質(zhì)量流量計(jì)(MFC)、氣體管路及閥件;
5. 電極系統(tǒng)，多層電極隔板設(shè)計(jì)：結(jié)構(gòu)對(duì)稱(chēng)損耗小，該設(shè)計(jì)對(duì)等離子激發(fā)空間均勻 性大大改善，在同一平面上等離子清洗的速率更加一致，控制電力參數(shù)由系統(tǒng)結(jié) 構(gòu)設(shè)計(jì)獲得，能很好的控制電極的溫度均一性，使電極對(duì)等離子的可控性大大提高，同時(shí)使電極間空間利用率達(dá)到;
6. 自主研發(fā)等離子體控制系統(tǒng): 可根據(jù)腔體環(huán)境精準(zhǔn)控制等離子體發(fā)生時(shí)間和反應(yīng)強(qiáng)度，可進(jìn)行多步工藝流程處理，采用品牌電器元件, 7”真彩觸摸屏，可編程控制器，可在線(xiàn)設(shè)定、修改、監(jiān)控真空壓力、處理時(shí)間、氣體流量、等離子功率等工藝參數(shù)，采用配方式參數(shù)系統(tǒng)，便捷切換不同工藝流程，并具有故障報(bào)警、工藝存儲(chǔ)、密碼等級(jí)管理等多種功能;
7. 強(qiáng)大的全面安全防護(hù)系統(tǒng)：溫度安全防護(hù)功能，過(guò)載防護(hù)功能，短路斷路報(bào)警防護(hù)功能，非法操作提示、清潔結(jié)束提示，各種誤操作保護(hù)功能等;
8. 處理全程無(wú)污染 ：等離子清洗機(jī)本身是很環(huán)保的設(shè)備，無(wú)產(chǎn)生任何污染，處理過(guò)程也無(wú)產(chǎn)生任何污染。
產(chǎn)品參數(shù)
| 序號(hào) | 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
| 1 | 腔體容量 | 60 升 |
| 2 | 電極板數(shù)量 | 7 層 |
| 3 | 載物托盤(pán)尺寸/數(shù)量 | L310mm x W350mm / 6 層 |
| 4 | 電極固定方式 | 插拔可拆卸 |
| 5 | 載物托盤(pán)與電極板間距 | H：35mm |
| 6 | 等離子電源 | 13.56MHz/500W 連續(xù)調(diào)節(jié)自動(dòng)阻抗匹配,可連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作。 |
| 7 | 氣體流量控制 | 0-500mL/minMFC 氣體質(zhì)量流量計(jì)精確控制流量 |
| 8 | 反應(yīng)氣體 | 3 路，（氧氣、氬氣、氮?dú)獾确歉g性氣體） |
| 9 | 工藝氣體供氣管路 | Φ10x6.5mm 軟管 |
| 10 | 腔體溫度 | 常溫 |
| 11 | 工作真空度 | 10-100Pa |
| 12 | 真空泵 | 雙級(jí)旋片真空泵 |
| 13 | 真空泵速率 | 60m³/h |
| 14 | 真空測(cè)定系統(tǒng) | 皮拉尼真空硅管 測(cè)量范圍：1.0×10 5 ～1×10 -1 Pa |
| 15 | 真空排氣系統(tǒng) | 油霧過(guò)濾器 |
| 16 | 破真空系統(tǒng) | 電磁閥+調(diào)節(jié)閥+消音器 |
| 17 | 抽真空時(shí)間 | 80s 以?xún)?nèi) |
| 18 | 破真空時(shí)間 | ≤15s |
| 19 | 輸入氣壓檢測(cè)系統(tǒng) | 3 路氣壓自動(dòng)報(bào)警 |
| 20 | 壓縮空氣要求 | 0.6~0.8MPa |
| 21 | 整機(jī)功率 | 4.0KW |
| 22 | 電源 | AC380V,50/60Hz，三相五線(xiàn) 30A |
| 23 | 外形尺寸 | W900×D930×H1650(mm) 不含三色燈高度 |
| 24 | 腔體尺寸 | W375×D455×H375(mm) |
| 25 | 重量(設(shè)備主機(jī)/真空泵） | 450KG |
