產品類型 | ZHLM-X150-Y150 | |
軸 | X/上軸 | Y/下軸 |
行程 | 150 mm | 150 mm |
分辨率 | 1Vpp | 1 Vpp |
定位精度 | 2μm | 2μm |
重復精度 | ±0.5μm(3δ) | ±0.5μm(3δ) |
直線度 | 5μm(可定制,達2μm) | 5μm(可定制,達2μm) |
平面度 | 5μm(可定制,達2μm) | 5μm(可定制,達2μm) |
速度 | 500 mm/s | 500 mm/s |
加速度 | 15000m/s2 | 15000m/s2 |
負載 | 5 kg | |
外形尺寸 | 300x300x107mm | |
質量 | 24 kg |