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  • NS-XY20Z5-01AFM專用XYZ三維納米掃描臺

NS-XY20Z5-01AFM專用XYZ三維納米掃描臺

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地天津市
  • 更新時間2025-06-01
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區天津市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量59
  • 人氣值115
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   三英精控(天津)儀器設備有限公司是一家專注于超精密運動控制技術和產品的開發,并致力于為科學研究、創新研發及儀器、設備的制造等提供系統的技術解決方案與集成,滿足市場對超精密運動控制技術需求的專業制造商。
    三英精控(天津)儀器設備有限公司在納米運動控制專家、國家 “千人計劃”特聘專家及“十二五”國家重大科學儀器專項項目負責人須穎博士的之下,秉承“創新、精益制造”的宗旨和“打造中國制造的品牌”的目標,力主*國內技術空白、打破西方對中國的技術壁壘,為中國制造裝備產業升級、轉型提供關鍵技術和打造堅實基礎,助力“中國制造 2025”。
    三英精控(天津)儀器設備有限公司在納米運動控制技術方面具有*的技術和經驗,并具有*的自主知識產權。公司核心技術集精密傳感、精密驅動、精密機械、精密控制、精密集成等各領域的技術于一體,整體技術指標已達到*水平。公司產品涵蓋大行程高精度運動平臺、納米和亞納米運動控制平臺、精密運動控制集成系統等系列產品。

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典型應用:AFM/SPM/SFM、光學探針、表面檢測、半導體加工、高密度存儲
NS-XY20Z5-01AFM專用XYZ三維納米掃描臺 產品詳情

典型應用:

AFM/SPM/SFM、光學探針、表面檢測、半導體加工、高密度存儲。

 

納米位移系統的應用越來越廣泛,從原子力顯微鏡、精密光學設備、半導體設備到各種*行業。納米位移系統能夠產生和測量優于納米(nm)的位移,整個系統包含3部分:納米位移臺、控制器和控制軟件。

納米位移臺是一種機械裝置,內部有一個或多個壓電陶瓷,由壓電陶瓷產生單軸或者多軸的運動。三英設計和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈將技術將運動裝置連接到固定基座上。納米位移臺內置精密傳感器,閉環控制時,三英的傳感器技術在保證線性度的前提下,可以實現納米級別、亞納米級別的分辨率。

控制器為納米位移臺提供電源。在閉環控制時,納米位移臺內部的傳感器為控制器提供位移數據。控制器周期性的處理位移數據并修正輸出電壓信號,從而使位移數據與指令數據相同。

三英提供簡單易用的軟件。納米位移系統通常作為大型設備的一個部件,因而納米位移系統與其他硬件良好配合是相當重要的。三英控制器對外通信方式有多種,常用的方式是通過BNC模擬信號(-10V~10V)控制納米位移臺的位移。還可以通過USB接口和數字IO實現與控制器的通信。三英控制器內部軟件實現了基于PID算法、陷波濾波器的閉環控制,內部集成了正弦波、方波和三角波的波形發生器。

如有客戶需求,三英可以對納米位移運動控制系統進行量身定制,以提供及時、滿意的技術支持與服務。

納米定位平臺 納米位移臺 柔性鉸鏈平臺 電控位移臺 高精度電控位移臺 精密滑臺 壓電平臺 壓電納米臺 納米壓電平臺 納米定位臺 壓電柔性鉸鏈平臺 壓電掃描臺 壓電定位臺 壓電納米定位臺 超低溫納米定位臺

未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

型號

NS-XY20Z5-01

運動軸

X/Y/Z

傳感器類型

電容式

閉環行程( μm )

20/20/5

閉環分辨率( nm )

0.5/0.5/0.1

線性度( % )

0.08/0.08/0.1

無負載下諧振頻率( Hz )

300/290/700

端口

D-sub15

材料

Invar

負載( kg )

0.5

自重( kg )

0.23

尺寸( mm )

35 x 35 × 35

適配控制器

SC100-A/SC300-3/SC400-3

注:閉環分辨率與帶寬有關。

 

     NS-XY20Z5尺寸圖

 

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