PTS-17系列平臺采用慣性電機作為驅動,可選配微型反饋系統,具有優良的定位及位置反饋性能;該系列平臺寬度均為17mm,高度均為11.5mm,結構精巧,實現超小尺寸、高精度、長壽命。主體采用高硬度航空鋁材質,驅動部件可實現納米級步進量。因此適用于小空間、小負載、微米及納米級運動定位運用場景。
特點:超小體積、高重復定位精度。
使用場景:光學腔體、真空環境、小空間運用場景。
型號 | PTS-17-12/G | PTS-17-20/G | PTS-17-25/G | PTS-17-30/G | PTS-17-35/G | PTS-17-40/G | PTS-17-50/G | PTS-17-60/G |
行程(mm) | 12 | 20 | 25 | 30 | 35 | 40 | 50 | 60 |
直線度(μm) | 5 | 10 | 15 | 20 | 25 | 30 | 35 | 35 |
偏擺(arcsec) | ±20 | ±20 | ±20 | ±40 | ±40 | ±60 | ±60 | ±60 |
俯仰(arcsec) | ±20 | ±20 | ±20 | ±40 | ±40 | ±60 | ±60 | ±60 |
分辨率(nm) | 18 | 18 | 18 | 18 | 18 | 18 | 18 | 18 |
重復定位精度(nm) | ±200 | ±200 | ±200 | ±200 | ±200 | ±200 | ±200 | ±200 |
精度(μm) | ±2 | ±2 | ±2 | ±2 | ±3 | ±3 | ±3 | ±3 |
速度(mm/s) | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
負載(kg) | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
開環最小步進量(nm) | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 |
閉環最小步進量(nm) | 36 | 36 | 36 | 36 | 36 | 36 | 36 | 36 |
驅動方式 | 慣性電機 | 慣性電機 | 慣性電機 | 慣性電機 | 慣性電機 | 慣性電機 | 慣性電機 | 慣性電機 |