型號 | 行程范圍 mm | 精度指標 μm | 主機外型尺寸 mm | 產(chǎn)品凈重 | 被測產(chǎn)品重量 | |||||||
X | Y | Z | E(μm) | R(μm) | Lx | Ly | Lz | kg | kg | |||
CMC 675 | 600 | 700 | 500 | 2.4+3.3L/1000 | 2.4 | 1450 | 1700 | 2550 | 1500 | 700 |
電源電壓(Power Voltage):220V 空氣壓力(Air Pressure):0.4-0.5Mpa
過濾精度(Filter Accuracy):0.3μm 空氣流量(Air Supply):0.12m3/min
溫度范圍(Temperature Range):18-22℃ 溫度變化(Hourly Temperature Cycle):1℃/h
溫度梯度(Thermal Gradient):1℃/m 濕度范圍(Relative Humidity):55%-65%