| 特點 | 優(yōu)點 |
| 微型體積設計 | 能安放在制程工具或緊湊空間內(nèi) |
| 自我平衡技術(shù) | 無需調(diào)校也能保持離子平衡 |
| 電源顯示LED | 顯示電源輸入正常 |
| 保養(yǎng)簡單 | 只需定期清掃靜電針尖 |
■ 產(chǎn)品規(guī)格
| 產(chǎn)品型號 | HZR MINI-A/N |
| 輸入電壓 | DC12V |
| 工作電流 | 30 mA (隔離的) |
| 電離技術(shù) | 脈沖直流電離 |
| 離子平衡 | MINI-N ：< ± 30 V@ (7.6 cm 距離)； |
| MINI-A ：< ± 20 V： | |
| @ (15.2 cm 距離，0.02 m /min風量) | |
| 耗散時間 | MINI-N：< 10 秒 @ (7.6 cm 距離) |
| MINI-A：< 8 秒 | |
| @ (15.2 cm 距離，0.02 m /min風量) | |
| 輸入氣源 | CDA潔凈空氣， |
| 風量輸出 | MINI-A：0.01-0.03 m /min @ 0.3-2.1 bar 輸入氣壓 |
| 覆蓋范圍 | MINI-N 15*15cm@7.6cm距離 MINI-A 15*15cm@15cm距離 |
| 環(huán)境氣流 | 1.0m/s (建議最小) |
| 臭氧產(chǎn)生 | < 0.05 ppm |
| EMI | 低于背景水平，建議最短使用距離5cm |
| 符合潔凈度 | ISO 14644-1 Class 5 |
| 放電針材質(zhì) | 不銹鋼 |
| 機殼 | ABS |
| 操作環(huán)境 | 溫度0-40°C ；30-70% RH (無冷凝) |
| 尺寸 | 5.2 x 4.1 x 1.65 cm，上下有 6 mm 邊框 |
| MINI-A 有 1 cm 長的氣管接口 | |
| 重量 | MINI-N：0.016 kg |
| MINI-A：0.019 kg |
■ 測試方法
測試偏置電壓和消散時間兩個性能參數(shù)。
出廠測試方法：
1 儀器設備名稱：本公司采用ME-288B充電平板測試儀 （CPM)。
2 測試儀器需接地良好，所測離子風機需接地良好。
3 靜電消除器對準平板測試儀中心，按照以下距離測試：
? MINI-N：76 mm距離
? MINI-A：152 mm距離
現(xiàn)場測試方法：
1. 現(xiàn)場測試時，儀器的測試平板需放置在ESD敏感元器件實際被操作的位置。
具體測試方法，以不同測試儀器說明書為準。
