4200A-SCS參數(shù)分析儀（參數(shù)測試儀）加快各類材料、半導(dǎo)體器件和工藝的開發(fā)，完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是業(yè)內(nèi)性能***電學特性參數(shù)分析儀，提供同步電流電壓曲線測試 (I-V曲線測試)、電容-電壓曲線測試 (C-V曲線測試) 和超快脈沖 I-V曲線測量。
Tektronix泰克 4200A-SCS 參數(shù)分析儀是一種可以量身定制、全面集成 的參數(shù)分析儀，可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V) 和超快速脈沖式I-V 特性。作為性能***的參數(shù)分析儀， 4200A-SCS 加快了半導(dǎo)體、材料和工藝開發(fā)速度。
4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的軟件提供了清楚的、不折不 扣的測量和分析功能。憑借嵌入式測量專業(yè)知識和數(shù)百項隨時 可以投入使用的應(yīng)用測試，Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究過程，快速而又滿懷信心。
4200A-SCS 參數(shù)分析儀可以根據(jù)不同用戶需求進行靈活配 置，不管是現(xiàn)在還是未來，都可以隨時對系統(tǒng)進行升級。通過 4200A-SCS 參數(shù)分析儀，通往發(fā)現(xiàn)之路現(xiàn)在變得異常簡便。
主要性能指標
I-V 源測量單元(SMU)
- ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊
- 100 fA測量分辨率
- 選配前端放大器提供了 10 aA測量分辨率
- 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量
- 100 μF負載電容
- 四象限操作
- 2 線或 4 線連接
C-V 多頻率電容單元(CVU)
- AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)
- 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍
- ± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源，可以擴展到± 210 V(420 V 差分)
- 選配 CVIV 多通道開關(guān)，在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元(PMU)
- 兩個獨立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測量通道
- 200 MSa/s，5 ns 采樣率
- ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
- 瞬態(tài)波形捕獲模式
- 任意波形發(fā)生器 Segment ARB? 模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率
高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)
- 兩個高速脈沖電壓源通道
- ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
- 任意波形發(fā)生器 Segment ARB?模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開關(guān)模塊 (CVIV)
- 在 I-V測量和 C-V 測量之間簡便切換，無需重新布線或抬起探針
- 把 C-V測量移動到任意端子，無需重新布線或抬起探針遠程前端放大器/ 開關(guān)模塊(RPM)
- 在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動切換
- 把 4225-PMU的電流靈敏度擴展到數(shù)十皮安
- 降低電纜電容效應(yīng)
遠程前端放大器 / 開關(guān)模塊 (RPM)
● 在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動切換
● 把 4225-PMU 的電流靈敏度擴展到數(shù)十皮安
● 降低電纜電容效應(yīng)
技術(shù)優(yōu)勢：
1、隨時可以投入使用、可以修改的應(yīng)用測試、項目和器件，縮短測試開發(fā)時間
2、內(nèi)置測量視頻的儀器，測試視頻由應(yīng)用工程師提供，分為4種語言，縮短學習周期
3、pin to pad接觸檢查，確保測量可靠
4、多種測量功能
5、數(shù)據(jù)顯示、分析和代數(shù)運算功能
6、專家視頻，降低特性分析復(fù)雜度，觀看吉時利應(yīng)用工程師制作的內(nèi)置視頻，迅速掌握應(yīng)用，縮短學習周期。數(shù)小時的專家測量專業(yè)幫助，在發(fā)生意想不到的結(jié)果或?qū)υ鯓釉O(shè)置測試存在疑問時，將為您提供指引。Clarius Software短專家視頻支持四種語言(英語、中文、日語和韓語)，可以迅速讓你洞察先機。
7、大量隨時可以使用的應(yīng)用測試可供選擇，通過Clarius庫中裝備的450多項應(yīng)用測試，您=可以選擇或修改預(yù)先定義的應(yīng)用測試，加快特性分析速度，或從一開始簡便地創(chuàng)建自定義測試。只需三步，Clarius Software就可以引導(dǎo)新用戶像專家一樣完成參數(shù)分析。
8、實時結(jié)果和參數(shù)，自動數(shù)據(jù)顯示、算法分析和實時參數(shù)提取功能，加快獲得所需信息的速度。不必擔心數(shù)據(jù)丟失，因為所有歷史數(shù)據(jù)都會保存下來。
9、無需示波器檢驗脈沖測量，脈沖定時預(yù)覽模式可以簡便地查看脈沖定時參數(shù)，確認脈沖式I-V測試按希望的方式執(zhí)行。使用瞬態(tài)I-V或波形捕獲模式，進行基于時間的電流或電壓測量，而無需使用外部示波器。
應(yīng)用方向：
MOSFET, BJT 晶體管；材料特性分析；非易失性存儲設(shè)備；電阻率系數(shù)和霍爾效應(yīng)測量；NBTI/PBTI；III-V 族器件；失效分析；納米器件；二極管和 pn 聯(lián)結(jié)；太陽能電池；傳感器；MEMS器件；電化學；LED和OLED。
| 型號 | 描述 |
|---|---|
| 4200A-SCS-PKA 高分辨率 IV 套件 | 4200A-SCS：參數(shù)分析儀主機 4201-SMU：兩個用于高容量設(shè)置的中功率 SMU 4200-PA：一個預(yù)放大器 8101-PIV：一個帶有采樣裝置的測試夾具 |
| 4200A-SCS-PKB 高分辨率 IV 和 CV 套件 | 4200A-SCS：參數(shù)分析儀主機 4201-SMU：兩個用于高容量設(shè)置的中功率 SMU 4200-PA：一個預(yù)放大器 4215-CVU：一個高分辨率多頻 C-V 單元 8101-PIV：一個帶有采樣裝置的測試夾具 |
| 4200A-SCS-PKC 高功率 IV 和 CV 套件 | 4200A-SCS：參數(shù)分析儀主機 4201-SMU：兩個用于高容量設(shè)置的中功率 SMU 4211-SMU：兩個用于高容量設(shè)置的高功率 SMU 4200-PA：兩個預(yù)放大器 4215-CVU：一個高分辨率多頻 C-V 單元 8101-PIV：一個帶有采樣裝置的測試夾具 |
| 4200-BTI-A 超快 NBTI/PBTI 套件 | 用于使用***硅 CMOS 技術(shù)進行的復(fù)雜 NBTI 和 PBTI 測量 4200-BTI-A 套件包括：
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