產(chǎn)品型號(hào) LF-A010 MFC LF-A011MFM
滿量程范圍 SCCM 0~5,10,20,30,50,100,200,500SLM 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
量程比 控制器50:1 流量計(jì)100:1
精度 ±1.0%F.S
線性 ±0.5%F.S
重復(fù)性 ±0.2%F.S
閥門類型 常閉閥
響應(yīng)時(shí)間 ≤1S
工作壓差 0.1...0.5Mpa
.大耐壓 3MPa
工作環(huán)境溫度 5...45℃
泄漏率 1×10-8Pa.m3/s
通信信號(hào) RS232/RS485 MODBUS協(xié)議
供電方式 24VDC(250mA)
密封材料 丁晴橡膠 氟橡膠
接頭尺寸 3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8”
電器接頭 DB9針
用于對(duì)氣體質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制,具有精度高,穩(wěn)定性好,可靠性高,安裝簡(jiǎn)單,操作方便。
廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。