霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列傳感器為的滿量程流量范圍及溫度補償范圍內讀取氣流數據提供一個數字界面。隔熱加熱器和溫度感應元件可幫助傳感器對空氣流或其他氣流做出快速響應。
Zephyr 傳感器旨在測量空氣和其他無腐蝕性氣體的質量流量。標準流量范圍為 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM，另具可定制化的流量范圍供您選擇。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進行全面的校準和溫度補償。
大于 10 SLPM 的 HAF 系列在經校準的 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的溫度范圍內進行補償。基于 ASIC 的補償能實現數字 (I2C) 輸出和 1 ms 的響應時間。
這些傳感器根據熱傳遞原理測量氣流的質量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機電傳感系統 (MEMS) 組成，薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設計的氣流通道內，提供對于流量的可重復響應。
Zephyr 傳感器可以為客戶提供增強的可靠性、高準確度、可重復測量等性能，并且能夠定制傳感器以滿足許多具體的應用要求。堅固外殼和穩定基底相結合使得這些產品極其堅固耐用。它們的設計與制造符合 ISO 9001 標準。
補償式。
10 SLPM 至 300 SLPM。
數字輸出
zephyr_HAF_series 50sccm-750sccm datasheet.pdf
HAF zephyr_digital_airflow_10slpm-300slpm datasheet.pdf
